公开(公告)号：DE69015472D1

公开(公告)日：1995-02-09

申请号：DE69015472

申请日：1990-05-12

Applicant: IBM

Inventor： MATHAD GANGADHARA SWANI ,  STANASOLOVICH DAVID ,  VIA GIORGIA GIULIO

IPC: H01L21/3205 ,  H01L21/311 ,  H01L21/768 ,  H01L21/027

公开(公告)号：DE69015472T2

公开(公告)日：1995-07-20

申请号：DE69015472

申请日：1990-05-12

Applicant: IBM

Inventor： MATHAD GANGADHARA SWANI ,  STANASOLOVICH DAVID ,  VIA GIORGIA GIULIO

IPC: H01L21/3205 ,  H01L21/311 ,  H01L21/768 ,  H01L21/027