公开(公告)号：DE69029586D1

公开(公告)日：1997-02-13

申请号：DE69029586

申请日：1990-10-15

Applicant: IBM

Inventor： DEAN ALICIA ,  FITZSIMMONS JOHN ,  HAVAS JANOS ,  MCCORMICK BARRY ,  SHAH PROBODH

IPC: G03F7/42 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：DE69029586T2

公开(公告)日：1997-07-17

申请号：DE69029586

申请日：1990-10-15

Applicant: IBM

Inventor： DEAN ALICIA ,  FITZSIMMONS JOHN ,  HAVAS JANOS ,  MCCORMICK BARRY ,  SHAH PROBODH

IPC: G03F7/42 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30