公开(公告)号：DE69031350T2

公开(公告)日：1998-02-26

申请号：DE69031350

申请日：1990-10-10

Applicant: IBM

Inventor： FENG BAI-CWO ,  FENG GEORGE ,  MCMASTER RICHARD

IPC: H01L23/12 ,  H01L23/13 ,  H01L23/538 ,  H01L23/50 ,  H01L21/768

公开(公告)号：DE69031350D1

公开(公告)日：1997-10-02

申请号：DE69031350

申请日：1990-10-10

Applicant: IBM

Inventor： FENG BAI-CWO ,  FENG GEORGE ,  MCMASTER RICHARD

IPC: H01L23/12 ,  H01L23/13 ,  H01L23/538 ,  H01L23/50 ,  H01L21/768