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公开(公告)号:DE3278000D1
公开(公告)日:1988-02-18
申请号:DE3278000
申请日:1982-07-16
Applicant: IBM
Inventor: MEAGHER RALH ERNEST , OSTERGREN CARL DAVID
IPC: H01L23/40 , H01L23/433 , H01L23/42
公开(公告)号:DE3278000D1
公开(公告)日:1988-02-18
申请号:DE3278000
申请日:1982-07-16
Applicant: IBM
Inventor: MEAGHER RALH ERNEST , OSTERGREN CARL DAVID
IPC: H01L23/40 , H01L23/433 , H01L23/42