公开(公告)号：JPS6045064A

公开(公告)日：1985-03-11

申请号：JP5129984

申请日：1984-03-19

Applicant: IBM

Inventor： NARASHIBAA GANDATSUPA ANANSA ,  TATSUKU HANGU NINGU ,  POORU JIYAMIN TSUANGU

IPC: H01L21/331 ,  H01L21/74 ,  H01L21/8222 ,  H01L21/8224 ,  H01L21/8228 ,  H01L27/082 ,  H01L29/73 ,  H01L29/732 ,  H01L29/735

公开(公告)号：JPH0644568B2

公开(公告)日：1994-06-08

申请号：JP5129984

申请日：1984-03-19

Applicant: IBM

Inventor： NARASHIBAA GANDATSUPA ANANSA ,  TATSUKU HANGU NINGU ,  POORU JIYAMIN TSUANGU

IPC: H01L21/331 ,  H01L21/74 ,  H01L21/8222 ,  H01L21/8224 ,  H01L21/8228 ,  H01L27/082 ,  H01L29/73 ,  H01L29/732 ,  H01L29/735