公开(公告)号：US3443227A

公开(公告)日：1969-05-06

申请号：US3443227D

申请日：1965-06-29

Applicant: IBM

Inventor： KELLY CHARLES A ,  PIERSON ROLAND L

IPC: G01R29/02 ,  G01R31/26 ,  G01R27/28 ,  H04B3/46

CPC classification number: G01R31/2617 ,  G01R29/02

公开(公告)号：US3392830A

公开(公告)日：1968-07-16

申请号：US46839565

申请日：1965-06-29

Applicant: IBM

Inventor： BRODERICK JOHN W ,  DAWLEY ROBERT E ,  FIORENZA ROBERT M ,  KOZAR MICHAEL ,  LINEMAN HARRY L ,  PIERSON ROLAND L

IPC: B07C5/344 ,  G01R1/073 ,  G01R31/02 ,  G01R31/26 ,  G01R31/316 ,  G01R31/319 ,  G07C3/00 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R1/073 ,  B07C5/344 ,  G01R31/02 ,  G01R31/2601 ,  G01R31/2893 ,  G01R31/316 ,  G01R31/31917 ,  G07C3/005 ,  Y10S209/905