公开(公告)号：DE68922715T2

公开(公告)日：1996-01-25

申请号：DE68922715

申请日：1989-12-23

Applicant: IBM

Inventor： MEMIS IRVING ,  ROVENTE FREDERICK M

IPC: C23F1/00 ,  G03F7/11 ,  G03F7/20 ,  H05K3/00 ,  H05K3/06 ,  H05K3/38 ,  B29C70/00 ,  B32B31/00 ,  G03F7/16

公开(公告)号：DE68922715D1

公开(公告)日：1995-06-22

申请号：DE68922715

申请日：1989-12-23

Applicant: IBM

Inventor： MEMIS IRVING ,  ROVENTE FREDERICK M

IPC: C23F1/00 ,  G03F7/11 ,  G03F7/20 ,  H05K3/00 ,  H05K3/06 ,  H05K3/38 ,  B29C70/00 ,  B32B31/00 ,  G03F7/16