公开(公告)号：JPS62105426A

公开(公告)日：1987-05-15

申请号：JP23024186

申请日：1986-09-30

Applicant: IBM

Inventor： OGURA SEIKI ,  RISEMAN JACOB ,  ROVEDO NIVO ,  SCHULZ RONALD N

IPC: G03F1/00 ,  G03F1/08 ,  H01L21/033 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/311

公开(公告)号：DE3688042T2

公开(公告)日：1993-09-16

申请号：DE3688042

申请日：1986-10-10

Applicant: IBM

Inventor： OGURA SEIKI ,  RISEMAN JACOB ,  ROVEDO NIVO ,  SCHULZ RONALD N

IPC: G03F1/00 ,  G03F1/08 ,  H01L21/033 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/311 ,  H01L21/00 ,  H01L21/76

公开(公告)号：DE3688042D1

公开(公告)日：1993-04-22

申请号：DE3688042

申请日：1986-10-10

Applicant: IBM

Inventor： OGURA SEIKI ,  RISEMAN JACOB ,  ROVEDO NIVO ,  SCHULZ RONALD N

IPC: G03F1/00 ,  G03F1/08 ,  H01L21/033 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/311 ,  H01L21/00 ,  H01L21/76