Patent search ap:("IBM") AND inv:"SHEINER LEONARD STEPHEN" Page 1

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发明专利
未知

公开(公告)号：DE2246152A1

公开(公告)日：1973-06-07

申请号：DE2246152

申请日：1972-09-20

Applicant: IBM

Inventor： MATHISEN EINAR SKAU , MOORE ROBERT LOUIS , SHEINER LEONARD STEPHEN

IPC: G01B11/00 , G02B7/00 , G03F9/00 , H01L21/027 , H01L21/30 , B23Q3/18

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