公开(公告)号：DE3480628D1

公开(公告)日：1990-01-04

申请号：DE3480628

申请日：1984-09-21

Applicant: IBM

Inventor： CHRISTENSEN RICHARD GILBERT ,  MOORE ROBERT LOUIS

IPC: C08F20/56 ,  G03F7/00 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/48 ,  H01L23/538 ,  H05K3/06 ,  H05K3/14 ,  H05K3/24 ,  G03F7/02

公开(公告)号：DE2246152A1

公开(公告)日：1973-06-07

申请号：DE2246152

申请日：1972-09-20

Applicant: IBM

Inventor： MATHISEN EINAR SKAU ,  MOORE ROBERT LOUIS ,  SHEINER LEONARD STEPHEN

IPC: G01B11/00 ,  G02B7/00 ,  G03F9/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  B23Q3/18