公开(公告)号：DE2635667A1

公开(公告)日：1977-03-03

申请号：DE2635667

申请日：1976-08-07

Applicant: IBM

Inventor： SCHWARTZ BRADFORD CLYDE ,  SILKENSEN RALPH DONALD ,  STEVING GERALD

IPC: C04B41/87 ,  C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/08 ,  C23C14/34 ,  C23C14/40 ,  G11B5/31 ,  H01L21/31 ,  H01L43/02 ,  C23C15/00

公开(公告)号：DE3274313D1

公开(公告)日：1987-01-02

申请号：DE3274313

申请日：1982-02-02

Applicant: IBM

Inventor： ROBINSON NEIL LLOYD ,  SILKENSEN RALPH DONALD

IPC: G11B5/17 ,  G11B5/193 ,  G11B5/29 ,  G11B5/127