公开(公告)号：JPS61253755A

公开(公告)日：1986-11-11

申请号：JP1598386

申请日：1986-01-29

Applicant: IBM

Inventor： JIEROOMU JIYON KUOMO ,  HARORUDO RICHIYAADO KAUFUMAN ,  SUCHIIBUN MAAKU ROSUNAGERU

IPC: H01J37/077 ,  H01J1/02

公开(公告)号：JPS6226821A

公开(公告)日：1987-02-04

申请号：JP14040186

申请日：1986-06-18

Applicant: IBM

Inventor： BURUUSU BANBURU ,  JIEROOMU JIYON KUOMO ,  JIYOSEFU SUKINAA ROOGAN ,  SUCHIIBUN MAAKU ROSUNAGERU

IPC: H05K3/08 ,  C23C14/34 ,  C23F1/04 ,  C23F4/00 ,  H01J37/32 ,  H01L21/302 ,  H01L21/3065

公开(公告)号：JPS61266585A

公开(公告)日：1986-11-26

申请号：JP4427686

申请日：1986-03-03

Applicant: IBM

Inventor： JIEROOMU JIYON KUOMO ,  HARORUDO RICHIYAADO KOOFUMAN ,  SUCHIIBUN MAAKU ROSUNAGERU

IPC: C23F4/00 ,  C23C14/35 ,  H01J37/34