公开(公告)号：DE2451902A1

公开(公告)日：1975-07-03

申请号：DE2451902

申请日：1974-10-31

Applicant: IBM

Inventor： MOREAU WAYNE M ,  TING CHIU H

IPC: G03F7/039 ,  G03F1/68 ,  G03F7/095 ,  G03F7/26 ,  H01L21/027 ,  H01L21/3205 ,  H05K3/02 ,  B44C1/22

公开(公告)号：CH619303A5

公开(公告)日：1980-09-15

申请号：CH1586774

申请日：1974-11-29

Applicant: IBM

Inventor： MOREAU WAYNE M ,  TING CHIU H

IPC: G03F7/039 ,  G03F1/68 ,  G03F7/095 ,  G03F7/26 ,  H01L21/027 ,  H01L21/3205 ,  H05K3/02

公开(公告)号：CA1035624A

公开(公告)日：1978-08-01

申请号：CA213549

申请日：1974-11-13

Applicant: IBM

Inventor： MOREAU WAYNE M ,  TING CHIU H

IPC: G03F7/039 ,  G03F1/68 ,  G03F7/095 ,  G03F7/26 ,  H01L21/027 ,  H01L21/3205 ,  H05K3/02