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公开(公告)号:JPH02209977A
公开(公告)日:1990-08-21
申请号:JP27193689
申请日:1989-10-20
Applicant: IBM
IPC: C09D11/10 , C08F8/14 , G03F7/039 , H01L21/027
公开(公告)号:JPH02209977A
公开(公告)日:1990-08-21
申请号:JP27193689
申请日:1989-10-20
Applicant: IBM
IPC: C09D11/10 , C08F8/14 , G03F7/039 , H01L21/027