Patent search ap:("IBM") AND inv:"WIDMER DANIEL FELIX" Page 1

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发明专利
VACUUM TRANSFER DEVICE 未知

公开(公告)号：DE3466135D1

公开(公告)日：1987-10-15

申请号：DE3466135

申请日：1984-10-16

Applicant: IBM

Inventor： BEDNORZ JOHANNES GEORG DR , GUERET PIERRE LEOPOLD DR , NIEVERGELT HERMANN EMIL , OTT HANSPETER , POHL WOLFGANG DIETER DR , WIDMER DANIEL FELIX

IPC: G01R31/26 , B25J9/02 , C23C14/56 , C23F4/00 , G12B5/00 , H01L21/02 , H01L21/677 , H01L21/68

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