公开(公告)号：DE69114676D1

公开(公告)日：1995-12-21

申请号：DE69114676

申请日：1991-11-20

Applicant: IBM

Inventor： ANSTROM JOEL ROBERT ,  AMOS ROBERT ALLAN ,  BOGACZYK FRANCIS WALTER ,  KULTERMAN ROBERT WAYNE ,  NEBGEN GILBERT BERNARD ,  POLK DARRYL RAY ,  RUBSAM MICHAEL ALAN ,  WATSON DAVID PAUL ,  WOOD CLIFFORD MAXWELL ,  WILMOUTH TERRY LEE

IPC: H01L21/52 ,  H01L21/00 ,  H01L21/60 ,  H05K13/04 ,  H05K13/08

公开(公告)号：DE69114676T2

公开(公告)日：1996-06-20

申请号：DE69114676

申请日：1991-11-20

Applicant: IBM

Inventor： ANSTROM JOEL ROBERT ,  AMOS ROBERT ALLAN ,  BOGACZYK FRANCIS WALTER ,  KULTERMAN ROBERT WAYNE ,  NEBGEN GILBERT BERNARD ,  POLK DARRYL RAY ,  RUBSAM MICHAEL ALAN ,  WATSON DAVID PAUL ,  WOOD CLIFFORD MAXWELL ,  WILMOUTH TERRY LEE

IPC: H01L21/52 ,  H01L21/00 ,  H01L21/60 ,  H05K13/04 ,  H05K13/08