公开(公告)号：DE69421607D1

公开(公告)日：1999-12-16

申请号：DE69421607

申请日：1994-05-26

Applicant: IBM

Inventor： BRADY FREDERICK T ,  BREITEN CHARLES P ,  HADDAD NADIM F ,  HOUSTON WILLIAM G ,  SPENCER OLIVER S ,  WRIGHT STEVEN J

IPC: H01L21/336 ,  H01L21/8238 ,  H01L29/78 ,  H01L29/786

公开(公告)号：DE69421607T2

公开(公告)日：2000-06-08

申请号：DE69421607

申请日：1994-05-26

Applicant: IBM

Inventor： BRADY FREDERICK T ,  BREITEN CHARLES P ,  HADDAD NADIM F ,  HOUSTON WILLIAM G ,  SPENCER OLIVER S ,  WRIGHT STEVEN J

IPC: H01L21/336 ,  H01L21/8238 ,  H01L29/78 ,  H01L29/786