公开(公告)号：DE69421607D1

公开(公告)日：1999-12-16

申请号：DE69421607

申请日：1994-05-26

Applicant: IBM

Inventor： BRADY FREDERICK T ,  BREITEN CHARLES P ,  HADDAD NADIM F ,  HOUSTON WILLIAM G ,  SPENCER OLIVER S ,  WRIGHT STEVEN J

IPC: H01L21/336 ,  H01L21/8238 ,  H01L29/78 ,  H01L29/786

公开(公告)号：CA977968A

公开(公告)日：1975-11-18

申请号：CA159459

申请日：1972-12-20

Applicant: IBM

Inventor： HABERLAND PETER H ,  LAY FRANK M ,  SKOLNIK MARVIN B ,  SPENCER OLIVER S ,  MURPHY THOMAS J ,  WAGNER PETER R ,  WHITAKER HOWARD L ,  WILSON DONALD M

IPC: H05K3/28 ,  H01J20060101 ,  H01J9/02 ,  H01J9/26 ,  H01J9/32 ,  H01J11/10 ,  H01J11/12 ,  H01J11/24 ,  H01J11/46 ,  H01J65/04

公开(公告)号：DE69421607T2

公开(公告)日：2000-06-08

申请号：DE69421607

申请日：1994-05-26

Applicant: IBM

Inventor： BRADY FREDERICK T ,  BREITEN CHARLES P ,  HADDAD NADIM F ,  HOUSTON WILLIAM G ,  SPENCER OLIVER S ,  WRIGHT STEVEN J

IPC: H01L21/336 ,  H01L21/8238 ,  H01L29/78 ,  H01L29/786