公开(公告)号：WO2008025174A2

公开(公告)日：2008-03-06

申请号：PCT/CH2007000371

申请日：2007-07-27

Applicant: INFICON GMBH ,  WUEEST MARTIN ,  KNAPP WOLFRAM

Inventor： WUEEST MARTIN ,  KNAPP WOLFRAM

CPC classification number: H01J49/08 ,  H01J49/147 ,  H01J49/16

Abstract: The invention relates to a mass spectrometer arrangement comprising a cathode arrangement (6) for emitting electrons (21), a reaction zone (3) connected to an entrance opening (14) for the supply of neutral particles (20), this opening being operatively connected to the cathode arrangement (6) for ionizing neutral particles (20), an ion extraction arrangement (4) which is arranged such that it communicates with the effective range of the reaction zone (3), means for guiding ions (22) to a detection system (12) and means for evacuating the mass spectrometer arrangement. The cathode arrangement (6) comprises a field emission cathode having an emitter area (7), wherein, at a small distance from said emitter area (7), an extraction grid (9) for extracting electrons is arranged, which grid substantially covers the emitter area (7). The emitter area (7) at least partially surrounds a cavity (13) such that a tubular structure is formed.

Abstract translation: 本发明涉及一种质谱仪组件，其包括用于发射电子的阴极布置（6）（21），反应区（3），其设置有入口开口（14），用于中性粒子的供给装置（20），其（与阴极组件 6）可操作地连接到与所述反应区（3）的有效区域配置在通信中性粒子的电离（20），一个lonenextraktionsanordnung（4）的装置，用于引导离子的（22）的检测系统（12）以及用于排空所述质谱仪组件 ， 在此，阴极组件（6）包括场发射阴极，包括发射极表面（7），其中，从该发射器表面一个小的距离（7），一个引出栅（9）被设置用于提取电子，这（7）基本上覆盖所述发射极面积。 在这种情况下，发射极区（7）至少部分地包围该管状结构形成的空腔（13），例如。

公开(公告)号：DE112007001837B4

公开(公告)日：2018-02-22

申请号：DE112007001837

申请日：2007-07-27

Applicant: INFICON GMBH

Inventor： WUEEST MARTIN ,  KNAPP WOLFRAM

IPC: H01J49/14

Abstract: Massenspektrometeranordnung enthaltend: – eine Kathodenanordnung (6) zur Emittierung von Elektronen (21), – eine Reaktionszone (3), die mit einer Eintrittsöffnung (14) für die Zuführung von Neutralteilchen (20) verbunden ist und welche mit der Kathodenanordnung (6) wirkverbunden ist zur Ionisierung von Neutralteilchen (20), – eine lonenextraktionsanordnung (4), welche kommunizierend mit dem Wirkbereich der Reaktionszone (3) angeordnet ist, – Mittel (1, 10, 11) zur Führung von Ionen (22) zu einem Detektionssystem (12) innerhalb der Massenspektrometeranordnung, – Mittel zur Evakuierung der Massenspektrometeranordnung, dadurch gekennzeichnet, dass die Kathodenanordnung (6) als Feldemissionskathode mit einer Emitterfläche (7) ausgebildet ist, wobei in geringem Abstand zu dieser Emitterfläche (7) ein Extraktionsgitter (9) angeordnet ist zur Extraktion von Elektronen (21), welches die Emitterfläche (7) im Wesentlichen überdeckt, wobei die Emitterfläche (7) mindestens teilweise einen Hohlraum (13) umschliesst, derart dass eine rohrförmige Struktur ausgebildet ist, und wobei die Emitterfläche (7) eine aufgeraute Fläche ist, wie mechanisch aufgeraut, vorzugsweise durch Ätzen, wie Plasmaätzen oder vorzugsweise durch chemisches Ätzen.

公开(公告)号：GB2457831B

公开(公告)日：2011-08-24

申请号：GB0907151

申请日：2007-11-23

Applicant: INFICON GMBH

Inventor： KNAPP WOLFRAM ,  WUEEST MARTIN

IPC: G01L21/30 ,  G01L21/32 ,  G01L21/34

Abstract: A vacuum pressure measuring device with an electron source has a reaction zone for forming ions by impact ionization, wherein the electron source communicates with the reaction zone via a passage for the electrons. The electron source is surrounded by an insulating housing with a vacuum chamber, and a partition part is designed as a membrane carrier, carrying a nanomembrane at least in one section, the membrane separating the vacuum chamber from the outer region in a gastight manner and being at least partially designed to be electron-permeable. The vacuum chamber has a cathode for the emission of electrons. In the region of and/or on the nanomembrane, an anode arrangement is provided such that electrons are conducted against the nanomembrane and at least partially through it. The nanomembrane abuts the vacuum chamber of the vacuum pressure measuring device.

公开(公告)号：AT513196T

公开(公告)日：2011-07-15

申请号：AT06707346

申请日：2006-03-01

Applicant: INFICON GMBH

Inventor： KNAPP WOLFRAM ,  WUEEST MARTIN

IPC: G01L21/30 ,  G01L21/32 ,  G01L21/34 ,  H01J1/30 ,  H01J1/304 ,  H01J41/00 ,  H01J41/02 ,  H01J41/04

Abstract: An electron-emitting cathode (6) consists of an electricaly conducting emitter layer (7) attached to a side wall (2) and a gate (9) which is fixed at a mall distance inside a concave emitter surface of the emitter layer (7). The cathode (6) surrounds a reaction area (3) containing a cylindrical grid-like anode (5) and a central ion collector (4) which consists of a straight axial filament. An ion collector current (I IC ) reflecting the densitiy of the gas in the reaction region (3) is measured by a current meter (11) while a gate voltage (Vc) is kept between the ground voltage of the emitter layer (7) and a higher anode voltage (V A ) and is regulated in such a way that an anode current (T A ) is kept constant. The emitter layer (7) may comprise an array of metal, e.g., nickel or molybdenum tips or consist essentially of a semiconductor material like silicon, preferably coated by, e.g., carbide, diamond-like carbon or molybdenum, or of carbon nanotubes or it may be a roughened surface portion of the side wall surface. The gate (9) may be a grid or it may be made up of patches of metal film covering spacers distributed over the emitter area or a metal film covering an electron permeable layer placed on the emitter surface.

公开(公告)号：GB2453702B

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：GB0902542

申请日：2007-07-27

Applicant: INFICON GMBH

Inventor： WUEEST MARTIN ,  KNAPP WOLFRAM

IPC: H01J49/14

Abstract: A cathode configuration for emission of electrons has a reaction zone connected to an entrance opening for the supply of neutral particles. The opening communicates with the cathode configuration for the ionization of the neutral particles and an ion extraction system communicates with the reaction zone. Ions from the extraction system are sent to a detection system and a mechanism for the evacuation of the mass spectrometer arrangement. The cathode configuration includes a field emission cathode with an emitter surface, wherein at a short distance from this emitter surface, an extraction grid is disposed for the extraction of electrons, which grid substantially covers the emitter surface. The emitter surface encompasses herein at least partially a hollow volume such that a tubular structure is formed.

公开(公告)号：CH698896B1

公开(公告)日：2009-11-30

申请号：CH13802006

申请日：2006-08-29

Applicant: INFICON GMBH

Inventor： WUEEST MARTIN ,  KNAPP WOLFRAM

IPC: H01J49/14

Abstract: Die Erfindung bezieht sich auf eine Massenspektrometeranordnung, enthaltend eine Kathodenanordnung (6) zur Emission von Elektronen (21), eine Reaktionszone (3), die mit einer Eintrittsöffnung (14) für die Zuführung von Neutralteilchen (20) verbunden ist, wobei diese mit der Kathodenanordnung (6) wirkverbunden ist zur Ionisierung von Neutralteilchen (20), eine lonenextraktionsanordnung (4), welche kommunizierend mit dem Wirkbereich der Reaktionszone (3) angeordnet ist, Mittel zur Führung von Ionen (22) zu einem Detektionssystem (12) und Mittel zur Evakuierung der Massenspektrometeranordnung. Hierbei enthält die Kathodenanordnung (6) eine Feldemissionskathode mit einer Emitterfläche (7), wobei in geringem Abstand zu dieser Emitterfläche (7) ein Extraktionsgitter (9) zur Extraktion von Elektronen angeordnet ist, welches die Emitterfläche (7) im Wesentlichen überdeckt. Die Emitterfläche (7) umschliesst hierbei mindestens teilweise einen Hohlraum (13) derart, dass eine rohrförmige Struktur ausgebildet ist.

公开(公告)号：DE112007002399A5

公开(公告)日：2009-10-22

申请号：DE112007002399

申请日：2007-11-23

Applicant: INFICON GMBH

Inventor： KNAPP WOLFRAM ,  WUEEST MARTIN

IPC: G01L21/30 ,  G01L21/32 ,  G01L21/34

Abstract: A vacuum pressure measuring device with an electron source has a reaction zone for forming ions by impact ionization, wherein the electron source communicates with the reaction zone via a passage for the electrons. The electron source is surrounded by an insulating housing with a vacuum chamber, and a partition part is designed as a membrane carrier, carrying a nanomembrane at least in one section, the membrane separating the vacuum chamber from the outer region in a gastight manner and being at least partially designed to be electron-permeable. The vacuum chamber has a cathode for the emission of electrons. In the region of and/or on the nanomembrane, an anode arrangement is provided such that electrons are conducted against the nanomembrane and at least partially through it. The nanomembrane abuts the vacuum chamber of the vacuum pressure measuring device.

公开(公告)号：GB2457831A

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：GB0907151

申请日：2007-11-23

Applicant: INFICON GMBH

Inventor： KNAPP WOLFRAM ,  WUEST MARTIN

IPC: G01L21/30 ,  G01L21/32 ,  G01L21/34

Abstract: The vacuum pressure measuring device comprises an electron source (1) having a reaction zone (3) for forming ions (22) by means of impact ionization, wherein the electron source (1) communicates with the reaction zone (30) via a passage (40) for the electrons (21). The electron source is surrounded by an insulating housing with a vacuum chamber (7), and a partition part is designed as a membrane carrier (4), carrying a nanomembrane (5) at least in one section, the membrane separating the vacuum chamber (7) from the outer region in a gastight manner and being at least partially designed to be electron-permeable. Said vacuum chamber (7) comprises a cathode (2) for the emission of electrons (21). In the region of and/or on the nanomembrane (5), an anode arrangement (3) is provided such that electrons (21) are conducted against the nanomembrane (5) and at least partially through it. The nanomembrane (5) abuts the vacuum chamber of the vacuum pressure measuring device.

公开(公告)号：DE112007002399B4

公开(公告)日：2014-02-06

申请号：DE112007002399

申请日：2007-11-23

Applicant: INFICON GMBH

Inventor： KNAPP WOLFRAM ,  WUEEST MARTIN

IPC: G01L21/30 ,  G01L21/32 ,  G01L21/34

Abstract: Vakuumdruckmessgerät mit einer Elektronenquelle (1) und mit einer Reaktionszone (30) zur Bildung von Ionen (22) durch Stossionisation, wobei die Elektronenquelle (1) mit der Reaktionszone (30) über eine Durchtrittsöffnung (40) für die Elektronen (21) kommunizierend verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektronenquelle (1) ein isolierendes Gehäuse (6) mit einem Vakuumraum (7) umschliessend aufweist, und dass ein Wandungsteil als Membranträger (4) ausgebildet ist welcher mindestens in einem Teilbereich eine Nanomembran (5) trägt, die den Vakuumraum (7) gegenüber dem Aussenbereich gasdichtend trennt und mindestens zu einem Teil elektronendurchlässig ausgebildet ist, und dass in diesem Vakuumraum (7) eine Kathode (2) angeordnet ist zur Emission von Elektronen (21) und dass im Bereich und/oder an der Nanomembran (5) eine Anodenanordnung (3) derart vorgesehen ist, dass Elektronen (21) gegen die Nanomembran (5) und mindesten teilweise durch diese hindurch tretend geführt sind, wobei die Nanomembran (5) an den Vakuumraum des Vakuumdruckmessgerätes angrenzt.

公开(公告)号：DE112007001837A5

公开(公告)日：2009-08-06

申请号：DE112007001837

申请日：2007-07-27

Applicant: INFICON GMBH

Inventor： WUEEST MARTIN ,  KNAPP WOLFRAM

IPC: H01J49/14

Abstract: A cathode configuration for emission of electrons has a reaction zone connected to an entrance opening for the supply of neutral particles. The opening communicates with the cathode configuration for the ionization of the neutral particles and an ion extraction system communicates with the reaction zone. Ions from the extraction system are sent to a detection system and a mechanism for the evacuation of the mass spectrometer arrangement. The cathode configuration includes a field emission cathode with an emitter surface, wherein at a short distance from this emitter surface, an extraction grid is disposed for the extraction of electrons, which grid substantially covers the emitter surface. The emitter surface encompasses herein at least partially a hollow volume such that a tubular structure is formed.