公开(公告)号：WO2014135229A1

公开(公告)日：2014-09-12

申请号：PCT/EP2013064511

申请日：2013-07-09

Applicant: INFICON GMBH

Inventor： ANDREAUS BERNHARD ,  ENDERES ROLF ,  WÜEST MARTIN ,  UNTERMARZONER OSKAR ,  STOCKER RUDOLF

IPC: G01L21/34 ,  H01J41/06

CPC classification number: G01L21/34 ,  H01J41/06

Abstract: An ionization vacuum measuring cell comprises an anode (3A) and a cathode (4K) in a measuring chamber (107). The measuring chamber (107) is arranged in a housing (101) which has a vacuum-tight feedthrough (103) for a connection rod (104) of the cathode (4K) towards the outside. The measuring chamber (107) holds the rod (104) in a feedthrough (109) which is electrically insulating only. The measuring chamber (107) in the housing (101) can be exchanged by means of a releasable plug connection (106).

Abstract translation: 电离真空电池包括在测量室（107）中的阳极（3A）和阴极（4K）。 测量室（107），壳体（101），用于通过真空密封通道（103）将阴极（4K）的连接杆（104）连接到外部。 测量室（107）将杆（104）保持在纯电绝缘套管（109）中。 通过可拆卸的插头连接（106），壳体（101）中的测量室（107）是可更换的。

公开(公告)号：DE112013006774A5

公开(公告)日：2015-12-17

申请号：DE112013006774

申请日：2013-07-09

Applicant: INFICON GMBH

Inventor： ENDERES ROLF ,  WÜEST MARTIN ,  UNTERMARZONER OSKAR ,  STOCKER RUDOLF ,  ANDREAUS BERNHARD

IPC: G01L21/34 ,  H01J41/06

公开(公告)号：CH707685A1

公开(公告)日：2014-09-15

申请号：CH5532013

申请日：2013-03-06

Applicant: INFICON GMBH

Inventor： ANDREAUS BERNHARD ,  STOCKER RUDOLF ,  WUEST MARTIN

IPC: G01L21/34 ,  H01J41/06

Abstract: Die Erfindung betrifft eine lonisations-Vakuummesszelle mit einem evakuierbaren Gehäuse (10), einer ersten äusseren Elektrode (3), einer zweiten inneren Elektrode (4) und einer elektrisch isolierenden vakuumdichten Durchführung (12). Die Vakuummesszelle umfasst ausserdem mindestens einen Permanentmagnetring (1), der die koaxiale Anordnung der Elektroden (3, 4) umschliesst, und ein den Permanentmagnetring (1) umschliessendes ferromagnetisches Joch (2). Das Joch (2) ist in axialer Richtung beidseitig vom Permanentmagnetring (1) weg geführt und nach einem vorgegebenen Abstand vom Permanentmagnetring (1) auf beiden Seiten in radialer Richtung zur Achse (7) und der ersten Elektrode (3) hin geführt, derart, dass das Joch (2) zwei ringförmige Pole ausbildet. In radialer Richtung gegen die Achse (7) hin gerichtet sind scheibenförmige ferromagnetische Leitmittel (5a, 5b) angeordnet, welche als erste und zweite Polscheibe ausgebildet sind. Zwischen der Durchführung (12) und der zweiten Polscheibe (5b) ist eine Abschirmvorrichtung (42, 60) angeordnet.