公开(公告)号：DE102015114113A1

公开(公告)日：2016-03-03

申请号：DE102015114113

申请日：2015-08-26

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： LARISCH MICHAEL ,  BECK ULRICH ,  WALSER MICHAEL

IPC: H01L21/67

Abstract: Ein Adapterwerkzeug (100), das gestaltet ist, an einem Ladeport (200) eines Wafer-Handhabungssystems (1000) angebracht zu werden, umfasst ein Trägerglied (360) und erste und zweite Führungselemente (340), die durch das Trägerglied (360) gelagert sind. Die ersten und zweiten Führungselemente (340) sind angeordnet, um jeweils ein erstes Wafermagazin (310) und ein zweites Wafermagazin (320) zu platzieren. Das Adapterwerkzeug (100) umfasst weiterhin ein durch das Trägerglied (360) gelagertes Gehäuse (140), das gestaltet ist, um jeweils die ersten und zweiten Wafermagazine (310, 320) aufzunehmen, sowie erste und zweite Öffnungen (150, 160) jeweils in dem Gehäuse. Die ersten und zweiten Öffnungen (150, 160) sind mit den ersten und zweiten Führungselementen (340) ausgerichtet.