公开(公告)号：DE102016122974A1

公开(公告)日：2017-06-01

申请号：DE102016122974

申请日：2016-11-29

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： MISCHITZ MARTIN ,  BERNSTEINER FLORIAN ,  HEINRICI MARKUS

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/308 ,  H01L21/31 ,  H01L21/32 ,  H01L51/56

Abstract: Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren (2100) zum Verarbeiten eines Substrats enthalten: Aufbringen eines viskosen Materials auf einem Substrat, das zumindest ein Topographiemerkmal enthält, das sich in das Substrat erstreckt, um eine Schutzschicht über dem Substrat zu bilden (2102); Einstellen einer Viskosität des viskosen Materials während einer Kontaktierungsperiode des viskosen Materials und des Substrats, um eine Raumverteilung des viskosen Materials wie aufgebracht zu stabilisieren (2104); Bearbeiten des Substrats unter Verwendung der Schutzschicht als Maske (2106); und Entfernen der Schutzschicht nach Bearbeitung des Substrats (2108).