公开(公告)号：DE102020102282B3

公开(公告)日：2021-04-08

申请号：DE102020102282

申请日：2020-01-30

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： MAURER DANIEL ,  KLEINBICHLER ANDREAS ,  SCHULZE-OLLMERT NICOLE ,  ALTSTAETTER CHRISTOF ,  BLANK OLIVER ,  BOSTJANCIC JUERGEN ,  BEYREDER THOMAS ,  LIEGL JOSEF

IPC: H01L23/544 ,  G01R31/28 ,  H01L21/28 ,  H01L21/66

Abstract: Halbleitervorrichtung mit einem Halbleitersubstrat, das eine Hauptoberfläche aufweist, über der eine Mehrzahl von Die-Pads und mindestens ein Ausrichtungspad zur optischen Prozesssteuerung für Halbleiterwafer-Testen angeordnet sind. Das Ausrichtungspad hat eine Härte, die kleiner ist als eine Härte der Mehrzahl von Die-Pads.