公开(公告)号：DE102011080299B4

公开(公告)日：2016-02-11

申请号：DE102011080299

申请日：2011-08-02

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： LENNIGER ANDREAS ,  HOHLFELD OLAF ,  KÜHLE ELMAR

IPC: H01L23/14 ,  C04B41/88 ,  C04B41/90 ,  C22C1/08 ,  H01L21/48 ,  H01L21/58 ,  H01L23/373 ,  H05K1/05 ,  H05K7/20

Abstract: Verfahren, mit dem ein Schaltungsträger (100) hergestellt wird, der eine Unterseite (100b) aufweist, eine in einer vertikalen Richtung (v) von der Unterseite beabstandete Oberseite (100t), einen Keramikkörper (1) aus einem Keramikmaterial, der eine Vielzahl von Zwischenräumen (3) aufweist, in denen sich kein Keramikmaterial des Keramikkörpers (1) befindet; sowie ein festes Füllmetall (2); wobei die Gesamtheit der Zwischenräume (3) teilweise, aber nicht vollständig mit dem Füllmetall (2) verfüllt ist, wobei der Keramikkörper (1) ein Gesamtvolumen aufweist, das durch die Summe der Volumina des Keramikmaterials und der Zwischenräume (3) gegeben ist, wobei das Volumen des in den Zwischenräumen (3) befindlichen Füllmetalls (2) mindestens 10% und höchstens 90% vom Gesamtvolumen des Keramikkörpers (1) beträgt; und wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst: Bereitstellen eines porösen, aus einem Keramikmaterial bestehenden Keramikkörpers (1), der eine Oberseite (1t), eine der Oberseite (1t) abgewandte Unterseite (1b), sowie eine Vielzahl von Poren (3) aufweist; Einbringen eines flüssigen Füllmetalls (2) in einen Teil der Poren (3) über die Unterseite (1b), ohne dabei sämtliche im Volumenbereich des Keramikmaterials befindlichen Poren (3) mit dem Füllmetall (2) zu verfüllen; nachfolgendes Abkühlen des Füllmetalls (2) bis zu dessen vollständiger Verfestigung; Anordnen eines Dielektrikums (4) in sämtlichen oder einem Teil der nicht mit dem Füllmetall (2) gefüllten Poren (3), sowie die Schrittfolge (a) oder (b): Schrittfolge (a): (a1) Bereitstellen eines flüssigen Dielektrikums (4); (a2) Vollständiges oder teilweises Verfüllen der nicht mit dem Füllmetall (2) gefüllten Poren (3) mit dem flüssigen Dielektrikum (4) über die Oberseite (1t) des Keramikkörpers (1); und ...