公开(公告)号：DE102016107275A1

公开(公告)日：2016-10-20

申请号：DE102016107275

申请日：2016-04-20

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： EBNER CHRISTIAN ,  HERRMANN MATTHIAS FRIEDRICH ,  HUFSCHMITT JOSEPH ,  JENKNER CHRISTIAN ,  KOLLIAS ATHANASIOS ,  MECHNIG STEPHAN ,  ROMANI ERNESTO ,  WIESBAUER ANDREAS

IPC: G01L9/12 ,  B81B7/02

Abstract: Eine Ausführungsform umfasst ein Verfahren zum Durchführen einer Messung unter Verwendung einer Mikroelektromechaniksystem- bzw. MEMS-Vorrichtung, die mehrere MEMS-Sensoren umfasst, die verschiedene Resonanzfrequenzen aufweisen. Das Verfahren umfasst Anlegen eines Anregungssignals an einen ersten Port der MEMS-Vorrichtung dergestalt, dass jeder der mehreren MEMS-Sensoren durch das Anregungssignal stimuliert wird. Das Verfahren umfasst ferner Messen eines Signals an einem zweiten Port der MEMS-Vorrichtung und Bestimmen eines gemessenen Werts auf der Basis des Messens des Signals.