公开(公告)号：DE102009007102B4

公开(公告)日：2019-07-18

申请号：DE102009007102

申请日：2009-02-02

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： LEHMANN GUNTHER DR ,  RUSS CHRISTIAN DR ,  UNGAR FRANZ

IPC: H01L23/525 ,  H01L21/20

Abstract: Elektrische Sicherungs-Vorrichtung (1200), aufweisend:• eine Fin-Struktur (1202), welche einen ersten Fin-Bereich (1202b) und einen zweiten Fin-Bereich (1202c) aufweist, sowie einen schmelzbaren Verbindungsbereich (1212), welcher den ersten und zweiten Fin-Bereich (1202b, 1202c) elektrisch miteinander verbindet,• wobei die Fin-Struktur (1202) eine Fin-Kernstruktur (1050) aufweist sowie eine epitaktische Schicht (1154), welche selektiv auf der Fin-Kernstruktur (1050) in dem ersten und zweiten Fin-Bereich (1202b, 1202c) aber nicht in dem schmelzbaren Verbindungsbereich (1212) ausgebildet ist, so dass die Fin-Struktur (1202) in dem schmelzbaren Verbindungsbereich (1212) eine geringere Weite und eine niedrigere Höhe aufweist als in dem ersten und zweiten Fin-Bereich (1202b, 1202c).