公开(公告)号：KR20200146015A

公开(公告)日：2020-12-31

申请号：KR20200066495

申请日：2020-06-02

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： MANZ JOHANNES ,  GLACER CHRISTOPH ,  TUMPOLD DAVID

IPC: G01N21/17 ,  G01L19/00 ,  G01L23/12

Abstract: MEMS 광음향가스센서는제1 멤브레인, 및제1 멤브레인과대향하고센싱볼륨에의해제1 멤브레인으로부터이격되는제2 멤브레인을포함한다. MEMS 광음향가스센서는제1 멤브레인및 제2 멤브레인을편향시키기위해센싱볼륨과통신하는전자기소스를포함한다.

公开(公告)号：DE102016114047A1

公开(公告)日：2018-02-15

申请号：DE102016114047

申请日：2016-07-29

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG ,  TECHNISCHE UNIVERSITÄT MÜNCHEN

Inventor： DEHE ALFONS ,  HERRMANN MATTHIAS FRIEDRICH ,  MANZ JOHANNES

IPC: B81B7/02 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  H04R1/00

Abstract: Eine mikroelektromechanische Vorrichtung, ein mikroelektromechanische System und ein Verfahren zur Herstellung einer mikroelektromechanischen Vorrichtung, wobei die mikroelektromechanische Vorrichtung enthalten kann: ein Substrat; eine Membran, die am Substrat montiert ist; eine erste Elektrode, die an der Membran montiert ist; eine zweite Elektrode, die am Substrat montiert ist; wobei die erste Elektrode seitlich neben der zweiten Elektrode liegt; und wobei die Membran über einem Spalt zwischen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode angeordnet ist.

公开(公告)号：DE102016114047B4

公开(公告)日：2020-07-02

申请号：DE102016114047

申请日：2016-07-29

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： DEHE ALFONS ,  HERRMANN MATTHIAS FRIEDRICH ,  MANZ JOHANNES

IPC: B81B7/02 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  H04R1/00

Abstract: Mikroelektromechanische Vorrichtung, aufweisend:ein Substrat (101);eine Membran (150), die am Substrat (101) montiert ist;eine erste Elektrode (110), die an der Membran (150) montiert ist;eine zweite Elektrode (120), die am Substrat (101) montiert ist;wobei die erste Elektrode (110) seitlich neben der zweiten Elektrode (120) liegt;wobei die erste Elektrode (110) mehrere erste Finger (111) aufweist und wobei die zweite Elektrode (120) mehrere zweite Finger (121) aufweist;wobei die mehreren ersten Finger (111) und die mehreren zweiten Finger (121) ineinandergreifen und zwischen benachbarten Fingern entweder Spalte (141) oderKanäle (142) vorgesehen sind;wobei ein jeweiliger Kanal (142) breiter als ein zugehöriger Spalt (141) ist;wobei die Membran (150) über den mehreren Spalten (141) und den mehreren Kanälen (142) zwischen den mehreren ersten Fingern (111) und den mehreren zweiten Fingern (121) angeordnet ist; undwobei die mehreren Kanäle (142) eingerichtet sind, einen Fluidstrom an der ersten Elektrode (110) und der zweiten Elektrode (120) vorbei zu erlauben.