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公开(公告)号：KR20200146015A
公开(公告)日：2020-12-31
申请号：KR20200066495
申请日：2020-06-02
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： MANZ JOHANNES , GLACER CHRISTOPH , TUMPOLD DAVID
Abstract: MEMS 광음향가스센서는제1 멤브레인, 및제1 멤브레인과대향하고센싱볼륨에의해제1 멤브레인으로부터이격되는제2 멤브레인을포함한다. MEMS 광음향가스센서는제1 멤브레인및 제2 멤브레인을편향시키기위해센싱볼륨과통신하는전자기소스를포함한다.
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公开(公告)号：DE102017109821B4
公开(公告)日：2020-06-04
申请号：DE102017109821
申请日：2017-05-08
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： TUMPOLD DAVID , ONARAN GÜCLÜ , DEHE ALFONS
Abstract: Einrichtung zum Detektieren von Schallwellen, umfassend:ein Gehäuse mit einer Gehäusewand mit einer Innenoberfläche; undeinen Schallwellensensor, der zumindest teilweise innerhalb des Gehäuses vorgesehen und konfiguriert ist zum Detektieren von Schallwellen,wobei mindestens die Hälfte der Gesamtfläche der Innenoberfläche der Gehäusewand aus einem wärmeisolierenden Material besteht,wobei die Gehäusewand einen geschichteten Abschnitt umfasst, umfassend mehrere Schichten,die in einer Dickenrichtung der Gehäusewand gestapelt sind;wobei der geschichtete Abschnitt eine Innenschicht, die zumindest einen Teil der Innenoberfläche der Gehäusewand bildet, und mindestens eine Außenschicht, die näher an einer Außenoberfläche der Gehäusewand positioniert ist als die Innenschicht, umfasst,wobei die Innenschicht zumindest teilweise aus einem Material besteht, das optisch transparent ist,wobei die Gehäusewand einen optisch transparenten Fensterabschnitt umfasst, der einen optischen Port zur Innenseite des Gehäuses bereitstellt.
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公开(公告)号：DE102017129454A1
公开(公告)日：2018-06-14
申请号：DE102017129454
申请日：2017-12-11
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DEHE ALFONS , GLACER CHRISTOPH , ONARAN GÜCLÜ , TUMPOLD DAVID
IPC: G01N21/17 , G01N21/3504
Abstract: Ein Gasanalysemessgerät (100) kann Folgendes aufweisen: eine Gaskammer (102), die dazu ausgelegt ist, ein Gas, das analysiert werden soll, darin aufzunehmen, eine Strahlungsquelle (104), die dazu ausgelegt ist, elektromagnetische Strahlung in die Gaskammer (102) zu emittieren, wobei die elektromagnetische Strahlung dazu angepasst ist, Gasmoleküle einer bestimmten Art, die in dem Gas, das in der Gaskammer (102) aufgenommen ist, detektiert werden soll, selektiv anzuregen, einen Kollimator (112), der dazu ausgelegt ist, die elektromagnetische Strahlung, die von der Strahlungsquelle (104) emittiert wird, zu kollimieren, und einen Sensor (106), der dazu ausgelegt ist, eine physikalische Größe, die einen Wechselwirkungsgrad zwischen der elektromagnetischen Strahlung, die von der Strahlungsquelle (104) emittiert wird, und dem Gas, das analysiert werden soll, angibt, zu detektieren.
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公开(公告)号：DE102017112197A1
公开(公告)日：2017-12-07
申请号：DE102017112197
申请日：2017-06-02
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： TUMPOLD DAVID , DEHE ALFONS , GLACER CHRISTOPH
Abstract: Ein Schallwellendetektor (100) kann Folgendes umfassen: ein Außengehäuse mit einer Außengehäusewand (104), eine Gaskammer (106), die innerhalb des Außengehäuses angeordnet ist und dazu eingerichtet ist, ein Gas in sich aufzunehmen. Die Außengehäusewand (104) kann eine Öffnung (108) aufweisen, die einen Gasdurchgang zwischen der Gaskammer (106) und der Außenseite des Schallwellendetektors (100) bereitstellt. Der Schallwellendetektor (100) kann ferner umfassen: ein Anregungselement (110), das dazu eingerichtet ist, selektiv Gasmoleküle eines spezifischen Typs in dem in der Gaskammer (106) aufgenommenen Gas zeitlich variierend anzuregen, wodurch Schallwellen in dem Gas erzeugt werden, und einen Schallwellensensor (112), der dazu eingerichtet ist, die Schallwellen, die in dem Gas erzeugt werden, und Schallwellen, die außerhalb des Schallwellendetektors (100) erzeugt werden, zu detektieren. Der Schallwellensensor (112) kann einen akustischen Anschluss (114) aufweisen, der mit der Öffnung (108) in der Außengehäusewand (104) überlappt. Der Schallwellensensor (112) kann eine mechanische Struktur aufweisen, die durch die zu detektierenden Schallwellen auslenkbar ist, wobei eine Auslenkung der mechanischen Struktur Eigenschaften der zu detektierenden Schallwellen anzeigt.
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公开(公告)号：DE102018201997B4
公开(公告)日：2021-07-15
申请号：DE102018201997
申请日：2018-02-08
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： TUMPOLD DAVID , GLACER CHRISTOPH , ANZINGER SEBASTIAN
Abstract: Emitterstruktur (10, 10', 10'', 10''', 10'''', 10''''', 10'''''' 10''''''') mit folgenden Merkmalen:einem Substrat mit einer Membrananordnung, die zumindest eine erste Membran (12, 12', 12'', 12'''), einen ersten Heizpfad (12a, 12a', 12a'', 12a''', 12a'''', 12a''''', 12a'''''', 12a''''''' 12b', 12b'', 12b''', 12b'''', 12b''''', 12b'''''', 12b''''''') und einen zweiten Heizpfad (14a, 14a', 14a'', 14a''', 14a'''', 14a''''', 14a'''''', 14a''''''', 14b', 14b'', 14b''', 14b'''', 14b''''', 14b'''''', 14b'''''') umfasst,wobei der erste Heizpfad (12a, 12a', 12a'', 12a''', 12a'''', 12a''''', 12a'''''', 12a''''''' 12b', 12b'', 12b''', 12b'''', 12b''''', 12b'''''', 12b''''''') und der zweite Heizpfad (14a, 14a', 14a'', 14a''', 14a'''', 14a''''', 14a'''''', 14a''''''', 14b', 14b'', 14b''', 14b'''', 14b''''', 14b'''''', 14b'''''') in unterschiedlichen Substratebenen angeordnet sind und so zueinander positioniert sind, dass eine Projektion des ersten Heizpfades (12a, 12a', 12a'', 12a''', 12a'''', 12a''''', 12a'''''', 12a''''''' 12b', 12b'', 12b''', 12b'''', 12b''''', 12b'''''', 12b''''''') und eine Projektion des zweiten Heizpfades (14a, 14a', 14a'', 14a''', 14a'''', 14a''''', 14a'''''', 14a''''''', 14b', 14b'', 14b''', 14b'''', 14b''''', 14b'''''', 14b'''''') auf eine gemeinsame Ebene (GE) zumindest teilweise nebeneinander in der gemeinsamen Ebene (GE) liegen;wobei die Emitterstruktur mit einer Steuerung gekoppelt ist, die ausgebildet ist, den ersten Heizpfad (12a, 12a', 12a'', 12a''', 12a'''', 12a''''', 12a'''''', 12a''''''' 12b', 12b'', 12b''', 12b'''', 12b''''', 12b'''''', 12b''''''') und den zweiten Heizpfad (14a, 14a', 14a'', 14a''', 14a'''', 14a''''', 14a'''''', 14a''''''', 14b', 14b'', 14b''', 14b'''', 14b'''' 14b'''''', 14b'''''') einzeln zu aktivieren, zu deaktivieren und/oder zu regeln,wobei die Projektion des ersten Heizpfades (12a, 12a', 12a'', 12a''', 12a'''', 12a''''', 12a'''''', 12a''''''' 12b', 12b'', 12b''', 12b'''', 12b''''', 12b'''''', 12b''''''') und die Projektion des zweiten Heizpfades (14a, 14a', 14a'', 14a''', 14a'''', 14a''''', 14a'''''', 14a''''''', 14b', 14b'', 14b''', 14b'''', 14b''''', 14b'''''', 14b'''''') zumindest in einem Bereich entlang des ersten und zweiten Heizpfades (14a, 14a', 14a'', 14a''', 14a'''', 14a''''', 14a'''''', 14a''''''', 14b', 14b'', 14b''', 14b'''', 14b''''', 14b'''''', 14b'''''') aneinander angrenzend sind.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：DE102016125840B4
公开(公告)日：2018-11-08
申请号：DE102016125840
申请日：2016-12-29
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DEHE ALFONS , TUMPOLD DAVID , GLACER CHRISTOPH
IPC: G01N21/17 , G01N21/01 , G01N21/3504 , G01N21/61 , H01K3/00
Abstract: Gasanalysevorrichtung (100), aufweisend:eine Gaskammer (102) zur Aufnahme eines zu analysierenden Gases,eine Strahlungsquelle (104), welche dazu eingerichtet ist, elektromagnetische Strahlung in die Gaskammer (102) zu emittieren, wobei die elektromagnetische Strahlung dazu eingerichtet ist, Moleküle eines zu analysierenden Gases selektiv anzuregen, undeinen Sensor (106), welcher dazu eingerichtet ist, eine physikalische Größe zu detektieren, welche Informationen über einen Wechselwirkungsgrad der von der Strahlungsquelle (104) emittierten elektromagnetischen Strahlung mit dem in der Gaskammer (102) aufgenommenen Gas enthält,wobei die Strahlungsquelle (104) aufweist:ein elektrisch heizbares flächiges Strahlungselement (130), welches dazu eingerichtet ist, elektromagnetische Strahlung zu emittieren, sowie ein Gehäuse mit einer ersten und einer zweiten flächigen Gehäusewand (132, 134), welche zwischen sich eine von der Umgebung der Strahlungsquelle (104) fluiddicht abgetrennte Strahlungselementaufnahmekammer (144) definieren undunmittelbar begrenzen, in welcher ein im Vergleich zum Normaldruck geringerer Gasdruck herrscht und in welcher wenigstens ein Abschnitt des Strahlungselements (130) von der ersten oder/und der zweiten Gehäusewand (132, 134) beabstandet angeordnet ist,wobei die erste oder/und die zweite Gehäusewand (132, 134) für die von dem Strahlungselement (130) emittierbare elektromagnetische Strahlung transparent ist/sind,wobei die Strahlungsquelle (104) wenigstens einen vollständig in der Strahlungselementaufnahmekammer (144) angeordneten Abstandshalter (154) zwischen der ersten und der zweiten Gehäusewand (132, 134) aufweist.
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公开(公告)号：DE102016125840A1
公开(公告)日：2018-07-05
申请号：DE102016125840
申请日：2016-12-29
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DEHE ALFONS , TUMPOLD DAVID , GLACER CHRISTOPH
IPC: G01N21/17 , G01N21/01 , G01N21/3504 , G01N21/61 , H01K3/00
Abstract: Eine Gasanalysevorrichtung weist auf: eine Gaskammer zur Aufnahme eines zu analysierenden Gases, eine Strahlungsquelle, welche dazu eingerichtet ist, elektromagnetische Strahlung in die Gaskammer zu emittieren, wobei die elektromagnetische Strahlung dazu eingerichtet ist, Moleküle eines zu analysierenden Gases selektiv anzuregen, und einen Sensor, welcher dazu eingerichtet ist, eine physikalische Größe zu detektieren, welche Informationen über einen Wechselwirkungsgrad der von der Strahlungsquelle emittierten elektromagnetischen Strahlung mit dem in der Gaskammer aufgenommenen Gas enthält, wobei die Strahlungsquelle aufweist: ein elektrisch heizbares flächiges Strahlungselement, welches dazu eingerichtet ist, elektromagnetische Strahlung zu emittieren, sowie ein Gehäuse mit einer ersten und einer zweiten flächigen Gehäusewand, welche zwischen sich eine von der Umgebung der Strahlungsquelle fluiddicht abgetrennte Strahlungselementaufnahmekammer definieren und unmittelbar begrenzen, in welcher ein im Vergleich zum Normaldruck geringerer Gasdruck herrscht und in welcher wenigstens ein Abschnitt des Strahlungselements von der ersten oder/und der zweiten Gehäusewand beabstandet angeordnet ist, wobei die erste oder/und die zweite Gehäusewand für die von dem Strahlungselement emittierbare elektromagnetische Strahlung transparent ist/sind.
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公开(公告)号：DE102017124825A1
公开(公告)日：2018-05-03
申请号：DE102017124825
申请日：2017-10-24
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： TUMPOLD DAVID , DEHE ALFONS , GLACER CHRISTOPH
Abstract: Ein photoakustischer Gasdetektor kann Folgendes beinhalten: eine Gaskammer, die zum Empfangen eines darin zu analysierenden Gases konfiguriert ist, ein Anregungselement, das zum selektiven Anregen von Gasmolekülen eines spezifischen Typs, der im in der Gaskammer empfangenen Gas detektiert werden soll, auf eine zeitlich veränderliche Weise konfiguriert ist, wodurch Druckdifferenzen erzeugt werden, einen Sensor, der zum Detektieren von durch das Anregungselement erzeugten Druckdifferenzen konfiguriert ist, und eine Pumpe, die zum Pumpen von Gas zwischen der Außenseite des photoakustischen Gasdetektors und der Gaskammer konfiguriert ist.
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公开(公告)号：DE102017119640A1
公开(公告)日：2018-03-01
申请号：DE102017119640
申请日：2017-08-28
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DEHE ALFONS , GLACER CHRISTOPH , TUMPOLD DAVID
IPC: G01N21/61
Abstract: Ein Gasanalysator (100) ist bereitgestellt. Der Gasanalysator (100) kann Folgendes beinhalten: ein rohrförmiges Gehäuse (102) mit einer Gehäusewand (103), die sich entlang einer axialen Richtung des rohrförmigen Gehäuses (102) erstreckt und eine Gaskammer (104), die zum Empfangen eines darin zu analysierenden Gases konfiguriert ist, umschließt, ein Anregungselement (106), das an einem ersten axialen Ende (108) des rohrförmigen Gehäuses (102) positioniert ist und zum selektiven Anregen von Gasmolekülen eines spezifischen Typs, der im in der Gaskammer (104) empfangenen Gas detektiert werden soll, auf eine zeitlich veränderliche Weise konfiguriert ist, wodurch akustische Wellen erzeugt werden, und einen Sensor (110), der an einem zweiten axialen Ende (112) des rohrförmigen Gehäuses (102) positioniert ist und zum Detektieren der durch das Anregungselement (106) erzeugten akustischen Wellen konfiguriert ist.
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公开(公告)号：DE102017200393A1
公开(公告)日：2017-07-13
申请号：DE102017200393
申请日：2017-01-11
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： DEHE ALFONS , GLACER CHRISTOPH , TUMPOLD DAVID
Abstract: Gemäß einer Ausführungsform enthält ein MEMS-Umsetzer mikroelektromechanischer Systeme eine ablenkbare Membran, die an einer Stützstruktur befestigt ist, eine akustische Ventilstruktur, die konfiguriert ist, zu verursachen, dass die ablenkbare Membran in einem ersten Modus akustisch transparent und in einem zweiten Modus akustisch sichtbar ist, und einen Betätigungsmechanismus, der an die ablenkbare Membran gekoppelt ist. Andere Ausführungsformen enthalten entsprechende Systeme und Vorrichtungen, wobei jedes bzw. jede konfiguriert ist, die Verfahren der verschiedenen Ausführungsformen auszuführen.
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