公开(公告)号：DE102022106253A1

公开(公告)日：2022-10-06

申请号：DE102022106253

申请日：2022-03-17

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： YOO HAN WOONG ,  ALBERT STEPHAN GERHARD ,  BRUNNER DAVID ,  DRUML NORBERT ,  KARIC SELMA ,  NIEDERMUELLER LEONHARD ,  SCHITTER GEORG ,  SCHROEDTER RICHARD

IPC: G02B26/10 ,  F21S41/675 ,  G01S7/481 ,  G01S17/89 ,  G02B27/18

Abstract: Ein Verfahren zur Lissajous-Abtastung umfasst das Antreiben einer ersten Oszillatorstruktur um eine erste Rotationsachse mit einer ersten Resonanzfrequenz gemäß einem ersten Antriebssignal und das Antreiben einer zweiten Oszillatorstruktur um eine zweite Rotationsachse mit einer zweiten Resonanzfrequenz gemäß einem zweiten Antriebssignal, die sich von der ersten Resonanzfrequenz unterscheidet. Das erste Antriebssignal hat einen ersten niedrigen Pegel, einen ersten hohen Pegel und einen ersten Arbeitszyklus, deren Kombination die erste Resonanzfrequenz erzeugt, und das zweite Antriebssignal hat einen zweiten niedrigen Pegel, einen zweiten hohen Pegel und einen zweiten Arbeitszyklus, deren Kombination die zweite Resonanzfrequenz erzeugt. Zumindest einer des zweiten niedrigen Pegels, des zweiten hohen Pegels und/oder des zweiten Arbeitszyklus unterscheidet sich von dem ersten niedrigen Pegel, dem ersten hohen Pegel bzw. dem ersten Arbeitszyklus.