公开(公告)号：DE102014115980B4

公开(公告)日：2022-06-23

申请号：DE102014115980

申请日：2014-11-03

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： GRUBER SABINE ,  KRIVEC STEFAN ,  AICHINGER THOMAS ,  OSTEMANN THOMAS

IPC: G01N27/26 ,  G01N23/227 ,  G01N27/22 ,  G01N27/44

Abstract: Gerät (10) zum Analysieren einer Ionenkinetik in einer dielektrischen Teststruktur (20), umfassend:ein Ionenreservoir (30), das an die dielektrische Teststruktur (20) anstößt, um zu detektierende bewegliche Ionen (40) zu der dielektrischen Teststruktur (20) zu liefern,eine Kondensatorstruktur (50), die gestaltet ist, um ein elektrisches Feld in der dielektrischen Teststruktur (20) längs einer vertikalen Richtung (z) zu erzeugen, undeine Elektrodenstruktur (60), die gestaltet ist, um eine elektrophoretische Kraft (F) auf bewegliche Ionen (40) in der dielektrischen Teststruktur (20) längs einer lateralen Richtung (x) zu erzeugen, wobeidas Ionenreservoir (30) eine Kavität (32) umfasst, die sich in die dielektrische Teststruktur (20) längs der vertikalen Richtung (z) erstreckt, wobei die Kavität (32) gestaltet ist, um eine flüssige oder feste Ionenlösung aufzunehmen, und die Kavität (32) eine Diffusionsbarriereschicht (400), die die Innenwand der Kavität (32) auskleidet, sowie ein Ionenzugangsgebiet (34) aufweist, das einen Zugang für bewegliche Ionen (40) zu der dielektrischen Teststruktur (20) vorsieht.

公开(公告)号：DE102014115980A1

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：DE102014115980

申请日：2014-11-03

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： GRUBER SABINE ,  KRIVEC STEFAN ,  AICHINGER THOMAS ,  OSTEMANN THOMAS

IPC: G01N27/26 ,  G01N23/227 ,  G01N27/22 ,  G01N27/44

Abstract: Ein Gerät (10) zum Analysieren einer Ionenkinetik in einer dielektrischen Teststruktur (20) umfasst ein Ionenreservoir (30), das an die dielektrische Teststruktur (20) anstößt, um bewegliche Ionen (40) zu der dielektrischen Teststruktur (20) zu liefern, eine Kondensatorstruktur (50), die gestaltet ist, um ein elektrisches Feld in der dielektrischen Teststruktur (20) längs einer vertikalen Richtung (z) zu erzeugen, und eine Elektrodenstruktur (60), die gestaltet ist, um eine elektrophoretische Kraft (F) auf bewegliche Ionen (40) in der dielektrischen Teststruktur (20) längs einer lateralen Richtung (x) zu erzeugen.