公开(公告)号：DE102018110689A1

公开(公告)日：2019-11-07

申请号：DE102018110689

申请日：2018-05-04

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： EBERL MATTHIAS ,  JOST FRANZ ,  POENARU ILIE

IPC: G01N21/17 ,  G01N29/02

Abstract: Ein photoakustischer Gassensor ist bereitgestellt. Der photoakustische Gassensor umfasst ein hermetisch abgedichtetes Gehäuse, das mit einem Referenzgas gefüllt ist. Ferner umfasst der photoakustische Gassensor ein Mikrofonsystem, das innerhalb des Gehäuses angeordnet ist. Das Mikrofonsystem ist ausgebildet, ein erstes Mikrofonsignal, das eine erste Signalkomponente bezogen auf eine photoakustische Anregung des Referenzgases umfasst, und ein zweites Mikrofonsignal, das eine zweite Signalkomponente bezogen auf die photoakustische Anregung umfasst, zu erzeugen. Der photoakustische Gassensor umfasst zusätzlich eine Schaltung, die ausgebildet ist, ein Ausgangssignal, das auf dem ersten Mikrofonsignal und dem zweiten Mikrofonsignal basiert, zu erzeugen, durch destruktives Überlagern einer dritten Signalkomponente des ersten Mikrofonsignals, bezogen auf mechanische Schwingungen des photoakustischen Gassensors, und einer vierten Signalkomponente des zweiten Mikrofonsignals, bezogen auf die mechanischen Schwingungen.