公开(公告)号：DE102014101289A1

公开(公告)日：2015-08-06

申请号：DE102014101289

申请日：2014-02-03

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： SCHACHTNER REINHARD ,  POEPPEL GERHARD

IPC: G06F17/18 ,  G01R31/28 ,  G07C3/14 ,  H01L21/66

Abstract: In verschiedenen Ausführungsbeispielen weist ein Verfahren zum rechnergestützten Ermitteln von Abweichungsmustern bei der Herstellung und/oder Testen einer Vielzahl von Dies, wobei die Dies eindeutig identifiziert sind auf: Ermitteln für jeden Die der Vielzahl von Dies und für zumindest einen Messprozess einer Mehrzahl von Messprozessen, die auf zumindest einen Teil der Dies angewendet werden, eines Messwerts, der in dem Messprozess für den jeweiligen Die ermittelt wurde; und Durchführen einer blinden Quellentrennung unter Verwendung der Messwerte, so dass die Abweichungsmuster für die Dies ermittelt werden.