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公开(公告)号：AU2003271518A8
公开(公告)日：2004-04-30
申请号：AU2003271518
申请日：2003-08-27
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： ELIAN KLAUS , SCHUMANN JORG
IPC: G03F1/00 , G03F7/09 , G03F7/20 , H01J37/317 , H01L51/30
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公开(公告)号：AU2003271518A1
公开(公告)日：2004-04-30
申请号：AU2003271518
申请日：2003-08-27
Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Inventor： ELIAN KLAUS , SCHUMANN JORG
IPC: G03F1/00 , G03F7/09 , G03F7/20 , H01J37/317
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