公开(公告)号：DE102020115325A1

公开(公告)日：2020-12-24

申请号：DE102020115325

申请日：2020-06-09

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： STELZER PHILIPP ,  DRUML NORBERT ,  STEGER CHRISTIAN ,  STRASSER ANDREAS

IPC: G01S7/497 ,  B81B7/02 ,  G01S7/481 ,  G01S17/89 ,  G02B26/08 ,  G05D19/02

Abstract: Ein System zum Treiben einer MEMS (mikroelektromechanisches System)-Oszillationsstruktur umfasst einen Phasenfehlerdetektor, der so konfiguriert ist, dass er ein Phasenfehlersignal basierend auf gemessenen Ereigniszeiten und erwarteten Ereigniszeiten der um eine Drehachse oszillierenden MEMS-Oszillationsstruktur erzeugt; einen Störungsereignisdetektor, der so konfiguriert ist, dass er ein Störungsereignis basierend auf dem Phasenfehlersignal und einem Störungsschwellenwert detektiert; und eine Phasenfrequenzdetektor (PFD)- und Korrekturschaltung, die so konfiguriert ist, dass sie in Antwort auf das detektierte Störungsereignis eine Vielzahl von gemessenen Durchgangsereignissen der um die Drehachse oszillierenden MEMS-Oszillationsstruktur überwacht, ein erstes Kompensationssignal basierend auf mindestens einem ersten gemessenen Durchgangsereignis und einem zweiten gemessenen Durchgangsereignis erzeugt, um eine Frequenz der MEMS-Oszillationsstruktur zu korrigieren, und ein zweites Kompensationssignal basierend auf einem dritten gemessenen Durchgangsereignis erzeugt, um eine Phase der MEMS-Oszillationsstruktur zu korrigieren.