公开(公告)号：DE102019205847A1

公开(公告)日：2020-10-29

申请号：DE102019205847

申请日：2019-04-24

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： RIESKE RALF ,  SWOBODA MARKO ,  ULLRICH ALBRECHT

IPC: B23K26/03 ,  B23K26/53 ,  C03B33/02 ,  G01B11/02 ,  G01B11/06 ,  G01N21/55 ,  H01L21/301

Abstract: Es wird ein Verfahren zum Erzeugen von Modifikationen (1) im Inneren eines Festkörpers (2) angegeben. Das Verfahren umfasst ein Beaufschlagen eines Volumenanteils (8) des Festkörpers (2) mit Lichtwellen (10) unterschiedlicher Wellenlänge, wobei die Lichtwellen (10) teilweise an Oberflächen (4, 6) des Festkörpers (2) reflektiert werden. Mittels einer Sensoreinrichtung (12) werden zumindest teilweise Lichtparameter der reflektierten Lichtwellen (11) erfasst, wobei aus zumindest einem Teil der erfassten Lichtparameter Abstand-Informationen und/oder Intensität-Informationen ermittelt werden. Aus den Abstand-Informationen und/oder den Intensität-Informationen wird eine Dicke bzw. eine Transmission des Festkörpers in dem Volumenanteil (8) ermittelt. Das Verfahren umfasst ferner ein Einbringen von Laserstrahlung (14) in den Volumenanteil (8) zur Erzeugung von einer Modifikation (1) im Inneren des Festkörpers (2), wobei zumindest ein Laserparameter der Laserstrahlung (14) zumindest in Abhängigkeit der Dicke und/oder der Transmission des Volumenanteils (8) derart eingestellt wird, dass die Modifikation (1) einen vordefinierten Abstand zu einer Oberfläche (6) des Festkörpers aufweist.