公开(公告)号：DE102013100079A1

公开(公告)日：2013-07-18

申请号：DE102013100079

申请日：2013-01-07

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG

Inventor： KLEINBICHLER FRANZ ,  KOITZ MARCO ,  KRENN CHRISTIAN ,  MAYER KARL ,  ZIEGER GUENTER ,  ZOTH GUENTHER

IPC: H01L21/28 ,  H01L21/306 ,  H01L21/316 ,  H01L21/56 ,  H01L21/60 ,  H01L29/40

Abstract: Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren zum Prozessieren eines Kontaktpads aufweisen: Bereitstellen eines Kontaktpads, wobei eine oberste Schicht des Kontaktpads Aluminium oder eine Aluminiumlegierung aufweist, wobei zumindest ein Teil der obersten Schicht des Kontaktpads freigelegt ist; das Kontaktpad einer thermisch aktivierten Atmosphäre aussetzen, die Wasser oder reaktive Bestandteile von Wasser aufweist.