公开(公告)号：WO2011087565A2

公开(公告)日：2011-07-21

申请号：PCT/US2010057164

申请日：2010-11-18

Applicant: INTEL CORP ,  ABDELMONEUM MOHAMED A ,  KAYSEN DAVID A

Inventor： ABDELMONEUM MOHAMED A ,  KAYSEN DAVID A

CPC classification number: G01K7/32

Abstract: Methods and apparatuses for Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) resonator to monitor the platform temperature. Fabricating the resonator on a relatively low cost flexible polymer substrate rather than silicon provides mechanical flexibility as well as design flexibility with respect to sensor placement. Sensor readout and control circuits can be on silicon if desired, for example, a positive feedback amplifier to form an oscillator in conjunction with the resonator and a counter to count oscillator frequency.

Abstract translation: 微机电系统（MEMS）谐振器的监测平台温度的方法和装置。 在相对低成本的柔性聚合物基材而不是硅上制造谐振器提供机械灵活性以及相对于传感器放置的设计灵活性。 如果需要，传感器读出和控制电路可以在硅上，例如，正反馈放大器以与谐振器一起形成振荡器，并计数振荡器频率。

公开(公告)号：BR112012017324A2

公开(公告)日：2016-04-19

申请号：BR112012017324

申请日：2010-11-18

Applicant: INTEL CORP

Inventor： KAYSEN DAVID A ,  ABDELMONEUM MOHAMED A

IPC: G01K11/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: sensores térmicos possuindo substratos flexíveis e usos dos mesmos. a presente inveção refere-se a métodos e aparelhos para ressonador de sistemas microelétrico mecânicos (mems) para monitorar a temperatura da plataforma. fabricar o ressonador em um substrato de polímero flexível com custo relativamente baixo ao invés de silício proporciona flexibilidade mecânica bem como flexibilidade de projeto com respeito à colocação do sensor. a leitura do sensor e os circuitos de controle podem ser no silício se desejado, por exemplo, um amplificador de realimentação positiva para formar um oscilador em conjunto com o ressonador e um contador para contar a frequência do oscilador.

公开(公告)号：DE112010005010B4

公开(公告)日：2015-05-28

申请号：DE112010005010

申请日：2010-11-18

Applicant: INTEL CORP

Inventor： ABDELMONEUM MOHAMED A ,  KAYSEN DAVID A

IPC: G01K7/32 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  G01K7/34

Abstract: Vorrichtung, umfassend: ein flexibles Substrat; und eine mikroelektromechanische Resonatorstruktur, die auf dem flexiblen Substrat aufgebracht ist, wobei die Resonatorstruktur ein Ausgabesignal liefert, das einer von der Resonatorstruktur detektierten Temperatur entspricht.

公开(公告)号：DE112010005010T5

公开(公告)日：2012-11-22

申请号：DE112010005010

申请日：2010-11-18

Applicant: INTEL CORP

Inventor： ABDELMONEUM MOHAMED A ,  KAYSEN DAVID A

IPC: G01K11/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: Verfahren und Vorrichtungen für mikroelektromechanische System(MEMS)-Resonatoren zum Überwachen der Plattformtemperatur. Herstellen des Resonators auf einem relativ kostengünstigen flexiblen Polymersubstrat anstelle von Silizium liefert mechanische Flexibilität, ebenso wie Entwurfsflexibilität bezüglich Sensoranordnung. Sensorauslese- und -steuerschaltkreise können auf Silizium, falls gewünscht, beispielsweise ein positiver Rückkopplungsverstärker sein, um einen Oszillator in Verbindung mit dem Resonator und einen Zähler zum Zählen von Oszillatorfrequenz auszubilden.