公开(公告)号：US20150033856A1

公开(公告)日：2015-02-05

申请号：US14518665

申请日：2014-10-20

Applicant: InSigh Tech, LLC

Inventor： BIAO ZHANG ,  TAO JU

IPC: G01C19/5712 ,  G01P15/105

CPC classification number: G01P15/105 ,  B81B5/00 ,  B81C1/00357 ,  B81C3/001 ,  B81C2201/0197 ,  B81C2203/038 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5776 ,  G01P15/125 ,  G01R33/091 ,  G01R33/093 ,  G01R33/098

Abstract: A MEMS gyroscope is disclosed herein, wherein the MEMS gyroscope comprised a driving mechanism, a magnetic sensing mechanism and a magnetic source that is formed at the proof-mass. The MEMS gyroscope is enclosed in a package that further comprises a magnet for providing bias magnetic field.

Abstract translation: 本文公开了一种MEMS陀螺仪，其中所述MEMS陀螺仪包括形成在所述证明质量下的驱动机构，磁感测机构和磁源。 MEMS陀螺仪封装在一个封装中，该封装还包括用于提供偏置磁场的磁体。