公开(公告)号：US20150033853A1

公开(公告)日：2015-02-05

申请号：US14518317

申请日：2014-10-20

Applicant: INSIGHTECH, LLC

Inventor： Biao Zhang ,  TAO JU

IPC: G01C19/56 ,  G01P15/105

CPC classification number: G01C19/574 ,  G01C19/5769 ,  G01P15/14

Abstract: A MEMS gyroscope is disclosed herein, wherein the MEMS gyroscope comprised plurality of movable portions that are capable of moving in response to angular velocity and a plurality of magnetic sensing mechanisms for measuring movements of the movable portions.

Abstract translation: 本文公开了一种MEMS陀螺仪，其中MEMS陀螺仪包括能够响应于角速度移动的多个可移动部分和用于测量可移动部分的运动的多个磁感测机构。

公开(公告)号：US20150034620A1

公开(公告)日：2015-02-05

申请号：US14518688

申请日：2014-10-20

Applicant: InSighTech, LLC

Inventor： BIAO ZHANG ,  TAO JU

IPC: B81C3/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: G01P15/105 ,  B81B5/00 ,  B81C1/00357 ,  B81C3/001 ,  B81C2201/0197 ,  B81C2203/038 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5776 ,  G01P15/125 ,  G01R33/091 ,  G01R33/093 ,  G01R33/098

Abstract: A method of making a MEMS gyroscope is disclosed herein, wherein the MEMS gyroscope comprised a magnetic sensing mechanism on a magnetic sensor wafer and a magnetic source on a MEMS wafer that further comprises a proof-mass.

Abstract translation: 本文公开了一种制造MEMS陀螺仪的方法，其中MEMS陀螺仪包括在磁传感器晶片上的磁感测机构以及还包括校验质量的MEMS晶片上的磁源。