公开(公告)号：US20160154019A1

公开(公告)日：2016-06-02

申请号：US14518621

申请日：2014-10-20

Applicant: InSighTech, LLC

Inventor： Biao Zhang ,  Tao Ju

IPC: G01P15/105 ,  G01R33/09

CPC classification number: G01P15/105 ,  B81B5/00 ,  B81C1/00357 ,  B81C3/001 ,  B81C2201/0197 ,  B81C2203/038 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5776 ,  G01P15/125 ,  G01R33/091 ,  G01R33/093 ,  G01R33/098

Abstract: A MEMS gyroscope is disclosed herein, wherein the MEMS gyroscope comprises a movable portion capable of moving in response to angular velocity, a conducting wire attached to the movable portion for generating magnetic field, and a spintronic device for measuring the magnetic field. The conducting wire is disposed such that the current it carries is substantially perpendicular to the sensing direction of the sensing mode of the proof-mass.

Abstract translation: 本文公开了一种MEMS陀螺仪，其中MEMS陀螺仪包括能够响应于角速度移动的可移动部分，连接到用于产生磁场的可移动部分的导线和用于测量磁场的自旋电子装置。 导线被布置成使得其承载的电流基本上垂直于检验质量的感测模式的感测方向。

公开(公告)号：US20160154070A1

公开(公告)日：2016-06-02

申请号：US14512469

申请日：2014-10-13

Applicant: InSighTech, LLC

Inventor： Biao Zhang ,  Tao Ju

IPC: G01R33/09 ,  G01C19/5712

CPC classification number: G01P15/105 ,  B81B5/00 ,  B81C1/00357 ,  B81C3/001 ,  B81C2201/0197 ,  B81C2203/038 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5776 ,  G01P15/125 ,  G01R33/091 ,  G01R33/093 ,  G01R33/098

Abstract: A MEMS gyroscope is disclosed herein, wherein the MEMS gyroscope comprised a magnetic sensing mechanism on a magnetic sensor wafer and a magnetic source on a MEMS wafer that further comprises a proof-mass. The magnetic sensor wafer and MEMS wafer are bonded through a bonding mechanism that comprises a hearting mechanism.

Abstract translation: 本文公开了一种MEMS陀螺仪，其中MEMS陀螺仪包括磁传感器晶片上的磁感测机构和进一步包括校验质量的MEMS晶片上的磁源。 磁传感器晶片和MEMS晶片通过包括心脏机构的接合机构结合。

公开(公告)号：US20160153780A1

公开(公告)日：2016-06-02

申请号：US14518607

申请日：2014-10-20

Applicant: InSighTech, LLC

Inventor： Biao Zhang ,  Tao Ju

IPC: G01C19/5712 ,  G01R33/09 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01P15/105 ,  B81B5/00 ,  B81C1/00357 ,  B81C3/001 ,  B81C2201/0197 ,  B81C2203/038 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5776 ,  G01P15/125 ,  G01R33/091 ,  G01R33/093 ,  G01R33/098

Abstract: A MEMS gyroscope is disclosed herein, wherein the MEMS gyroscope comprises a movable portion capable of moving in response to angular velocity, a conducting wire attached to the movable portion for generating magnetic field, and a spintronic device for measuring the magnetic field. The easy axis of the spintronic device is aligned to the sensing mode of the movable portion and to the direction of the current flowing through the conducting wire.

Abstract translation: 本文公开了一种MEMS陀螺仪，其中MEMS陀螺仪包括能够响应于角速度移动的可移动部分，连接到用于产生磁场的可移动部分的导线以及用于测量磁场的自旋电子装置。 自旋电子器件的容易轴线与可移动部分的感测模式和流过导线的电流的方向对准。

公开(公告)号：US10012670B2

公开(公告)日：2018-07-03

申请号：US14518688

申请日：2014-10-20

Applicant: InSighTech, LLC

Inventor： Biao Zhang ,  Tao Ju

IPC: H04R31/00 ,  G01P15/105 ,  G01C19/56 ,  B81B5/00 ,  G01C19/5776 ,  G01C19/5712 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00 ,  G01R33/09 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01P15/105 ,  B81B5/00 ,  B81C1/00357 ,  B81C3/001 ,  B81C2201/0197 ,  B81C2203/038 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5776 ,  G01P15/125 ,  G01R33/091 ,  G01R33/093 ,  G01R33/098

Abstract: A method of making a MEMS gyroscope is disclosed herein, wherein the MEMS gyroscope comprised a magnetic sensing mechanism on a magnetic sensor wafer and a magnetic source on a MEMS wafer that further comprises a proof-mass.

公开(公告)号：US20150226555A1

公开(公告)日：2015-08-13

申请号：US14178229

申请日：2014-02-11

Applicant: InSighTech, LLC

Inventor： Biao Zhang ,  Tao Ju

IPC: G01C19/5712 ,  G01R33/09

CPC classification number: G01P15/105 ,  B81B5/00 ,  B81C1/00357 ,  B81C3/001 ,  B81C2201/0197 ,  B81C2203/038 ,  G01C19/56 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5776 ,  G01P15/125 ,  G01R33/091 ,  G01R33/093 ,  G01R33/098

Abstract: A MEMS gyroscope is disclosed herein, wherein the MEMS gyroscope comprised a magnetic sensing mechanism and a magnetic source that is associated with the proof-mass. The magnetic sensing mechanism is disposed at a location wherein the magnetic field gradient from the magnetic source is maximum.

Abstract translation: 本文公开了一种MEMS陀螺仪，其中MEMS陀螺仪包括与检测质量相关联的磁感测机构和磁源。 磁感测机构设置在磁源的磁场梯度最大的位置。