印刷布线板用铜箔
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102124823B

    公开(公告)日:2013-03-06

    申请号:CN200980132029.2

    申请日:2009-11-26

    Inventor: 古泽秀树

    CPC classification number: H05K3/384 B32B15/01 C23C14/165 H05K2201/0355

    Abstract: 本发明提供一种与绝缘基板的粘结性及蚀刻性二者皆优异、且适合于细节距化的印刷布线板用铜箔。印刷布线板用铜箔具备铜箔基材与被覆该铜箔基材表面的至少一部分的被覆层。被覆层由自铜箔基材表面依次叠层的由金属的单质或合金构成的中间层及Cr层所构成。被覆层中,Cr以18~180μg/dm2的被覆量存在,在将根据利用XPS的自表面起的深度方向分析所得的深度方向(x:单位nm)的金属铬的原子浓度(%)设为f1(x),将氧化物铬的原子浓度(%)设为f2(x),将总体铬的原子浓度(%)设为f(x)(f(x)=f1(x)+f2(x)),将镍的原子浓度(%)设为g(x),将铜的原子浓度(%)设为h(x),将氧的原子浓度(%)设为i(x),将碳的原子浓度(%)设为j(x),将其它金属的原子浓度的总和设为k(x),则在区间[0,1.0]内,∫h(x)dx/(∫f(x)dx+∫g(x)dx+∫h(x)dx+∫i(x)dx+∫j(x)dx+∫k(x)dx)为10%以下,∫f2(x)dx/(∫f(x)dx+∫g(x)dx+∫h(x)dx+∫i(x)dx+∫j(x)dx+∫k(x)dx)为20%以上,在区间[1.0,2.5]内,满足0.1≦∫f1(x)dx/∫f2(x)dx≦1.0。

    印刷布线板用铜箔及使用它的层叠体

    公开(公告)号:CN103430635B

    公开(公告)日:2016-06-29

    申请号:CN201280013729.1

    申请日:2012-02-29

    Abstract: 本发明提供一种适于窄间距化的能以良好的制造效率制造裙裾较小的剖面形状的电路的印刷布线板用铜箔、及使用它的层叠板。本发明的印刷布线板用铜箔具备铜箔基体材料与覆盖该铜箔基体材料表面的至少一部分的覆盖层,上述覆盖层由自铜箔基体材料表面依次层叠的由Pt、Pd及Au的至少任一种构成的第一层、以及由Ni、Co、Sn、Zn、Cu及Cr的任一种以上的金属构成的第二层而构成,在上述覆盖层中,各种金属是以如下覆盖量而存在:Au为200~2000μg/dm2、Pt为200~2000μg/dm2、Pd为120~1200μg/dm2、Ni为5~1500μg/dm2、Co为5~1500μg/dm2、Sn为5~1200μg/dm2、Zn为5~1200μg/dm2、Cu为5~1500μg/dm2、Cr为5~80μg/dm2,上述覆盖层的厚度为3~25nm,若将由利用XPS的自表面起的深度方向分析而获得的深度方向(x:单位nm)的Pt、Pd及Au的任一种以上的原子浓度(%)设为f(x),将Ni、Co、Sn、Zn、Cu及Cr的任一种以上的金属的原子浓度设为g(x),且将区间[0,15]中的f(x)、g(x)的第一极大值分别设为f(F)、g(G),则满足G≤F、f(F)≥1%、g(G)≥1%。

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