公开(公告)号：WO2010091307A3

公开(公告)日：2010-11-04

申请号：PCT/US2010023396

申请日：2010-02-05

Applicant: KLA TENCOR CORP ,  LEE CHRIS ,  GAO LISHENG ,  LUO TAO ,  WU KENONG ,  TORELLI TOMMASO ,  VAN RIET MICHAEL J ,  DUFFY BRIAN

Inventor： LEE CHRIS ,  GAO LISHENG ,  LUO TAO ,  WU KENONG ,  TORELLI TOMMASO ,  VAN RIET MICHAEL J ,  DUFFY BRIAN

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/88

CPC classification number: H01L22/20 ,  G01N21/9501 ,  H01L22/12 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: Computer-implemented methods, computer-readable media, and systems for selecting one or more parameters for inspection of a wafer are provided.

Abstract translation: 提供了计算机实现的方法，计算机可读介质和用于选择用于检查晶片的一个或多个参数的系统。

公开(公告)号：EP3105780A4

公开(公告)日：2017-10-11

申请号：EP15748438

申请日：2015-02-12

Applicant: KLA - TENCOR CORP

Inventor： VAJARIA HIMANSHU ,  TORELLI TOMMASO ,  RIES BRADLEY ,  MAHADEVAN MOHAN

IPC: H01L21/66 ,  G06T7/00

CPC classification number: G06T7/0004 ,  G06T2207/20076 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20 ,  Y02P90/14