公开(公告)号：DE112018000314T5

公开(公告)日：2019-09-26

申请号：DE112018000314

申请日：2018-01-02

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： ZHAO GUOHENG ,  LEONG JENN-KUEN ,  KIRK MICHAEL

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67

Abstract: Ein Inspektionssystem umfasst eine Beleuchtungsquelle zum Erzeugen eines Beleuchtungsstrahls, Fokussierungselemente zum Richten des Beleuchtungsstrahls auf eine Probe, einen Detektor, Sammelelemente zum Richten von von der Probe ausgehender Strahlung auf den Detektor, eine Detektionsmodus-Steuervorrichtung zum Abbilden der Probe in zwei oder mehr Erfassungsmodi, so dass der Detektor zwei oder mehr Sammelsignale basierend auf den zwei oder mehr Erfassungsmodi erzeugt, und einer Steuerung. Von der Probe ausgehende Strahlung umfasst mindestens von der Probe spiegelnd reflektierte Strahlung und von der Probe gestreute Strahlung. Die Steuereinrichtung bestimmt auf der Grundlage der zwei oder mehr Sammelsignale Defektstreueigenschaften, die mit durch Defekte auf der Probe gestreuter Strahlung verbunden sind. Die Steuerung klassifiziert auch das eine oder die mehreren Teilchen gemäß einem Satz vorbestimmter Defektklassifizierungen basierend auf dem einen oder den mehreren Defektstreueigenschaften.