公开(公告)号：EP2791653A4

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：EP12857471

申请日：2012-12-14

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： ILORETA JONATHAN ,  AOYAGI PAUL ,  CHU HANYOU ,  CHARD JEFFREY ,  JIANG PEILIN ,  SUSHCHIK MIKHAIL ,  POSLAVSKY LEONID ,  FLANNER PHILIP D III

IPC: G03F7/20 ,  G01B11/24

CPC classification number: G01B11/00 ,  G01B11/24 ,  G01B11/30 ,  G01B2210/56 ,  G03F7/70625 ,  G06F7/00 ,  G06F17/16 ,  G06F17/40 ,  G06F19/00 ,  H01L22/12