公开(公告)号：DE112014005636B4

公开(公告)日：2022-10-27

申请号：DE112014005636

申请日：2014-12-12

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： BEZEL ILYA V ,  SHCHEMELININ ANATOLY ,  TORKAMAN AMIR

IPC: H05G2/00 ,  H05H1/24 ,  H05H1/48

Abstract: System (100) zur Bildung eines lichtgestützten Plasmas (104), umfassend:eine Beleuchtungsquelle (111), ausgebildet um Beleuchtung (107) zu erzeugen;eine Plasmazelle (102), welche beinhaltet:ein Transmissionselement (108), das eine oder mehrere Öffnungen (109a, 109b) hat und dazu ausgebildet ist, ein Gasvolumen (103) einzuschließen;einen oder mehrere Endflansche (110, 112), die an oder nahe der einen oder den mehreren Öffnungen (109a, 109b) des Transmissionselements (108) angeordnet sind;einen oder mehrere freie Flansche (113), die zwischen mindestens einem der Endflansche (110, 112) und dem Transmissionselement (108) angeordnet sind, wobei der eine oder die mehreren freien Flansche (113) beweglich sind, um eine thermische Ausdehnung des Transmissionselements (108) auszugleichen; undein Kollektorelement (105), welches dazu angeordnet ist, die Beleuchtung (107) von der Beleuchtungsquelle (111) in das Gasvolumen (103) zu fokussieren, um innerhalb des in der Plasmazelle (102) eingeschlossenen Gasvolumens (103) ein Plasma (104) zu erzeugen,wobei das Plasma (104) Breitbandstrahlung emittiert,wobei das Transmissionselement (108) der Plasmazelle (102) zumindest teilweise transparent ist für zumindest einen Teil der von der Beleuchtungsquelle (111) erzeugten Beleuchtung (107) und zumindest einen Teil der von dem Plasma (104) emittierten Breitbandstrahlung.

公开(公告)号：DE112014005636T5

公开(公告)日：2016-09-01

申请号：DE112014005636

申请日：2014-12-12

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： BEZEL ILYA V ,  SHCHEMELININ ANATOLY ,  TORKAMAN AMIR

IPC: H05H1/24 ,  H05H1/48

Abstract: Eine Plasmazelle zur Erzeugung lichtgestützten Plasmas beinhaltet ein Transmissionselement, das dazu ausgebildet ist, ein Gasvolumen einzuschließen, einen ersten Endflansch, der an oder nahe einer Öffnung des Transmissionselements angeordnet ist, einen zweiten Endflansch, der an oder nahe einer anderen Öffnung des Transmissionselements angeordnet ist, einen freien Flansch, der zwischen dem ersten oder dem zweiten Endflansch und dem Transmissionselement angeordnet ist. Der freie Flansch ist beweglich, um eine thermische Ausdehnung des Transmissionselements auszugleichen. Ferner ist der freie Flansch dazu ausgebildet, das innere Volumen des Transmissionselements einzuschließen, um ein Gasvolumen innerhalb des Transmissionselements einzuschließen. Das Transmissionselement ist dazu ausgebildet, Beleuchtung von einer Beleuchtungsquelle zu empfangen, um Plasma innerhalb des Gasvolumens zu erzeugen. Das Transmissionselement ist transparent für einen Teil der Beleuchtung von der Beleuchtungsquelle und einen Teil der vom Plasma emittierten Breitbandstrahlung.