公开(公告)号：DE112018000685T5

公开(公告)日：2019-10-17

申请号：DE112018000685

申请日：2018-02-02

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： HAYNES ROBERT ,  WELK ARON ,  NASSER-GHODSI MEHRAN ,  GERLING JOHN ,  PLETTNER TOMAS

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/08

Abstract: Mehrsäulen-Rasterelektronenmikroskopie-(SEM)-System mit einer Säulenanordnung, wobei die Säulenanordnung eine erste Anordnung eines Substratarrays und mindestens eine zweite Anordnung eines Substratarrays umfasst. Das System umfasst ferner einen Aufbau der Quellen, wobei der Aufbau der Quelle zwei oder mehr Beleuchtungsquellen umfasst, die so konfiguriert sind, dass sie zwei oder mehr Elektronenstrahlen erzeugen. Zwei oder mehr Sätze von mehreren Positionierern sind derart konfiguriert, dass sie eine Position einer bestimmten Beleuchtungsquelle der zwei oder mehr Beleuchtungsquellen in mehrere Richtungen anpassen. Das System umfasst ferner einen Tisch, der dazu eingerichtet ist, eine Probe zu sichern, wobei die Säulenanordnung zumindest einen Teil der zwei oder mehren Elektronenstrahlen auf einen Teil der Probe richtet.