公开(公告)号：DE112018000685T5

公开(公告)日：2019-10-17

申请号：DE112018000685

申请日：2018-02-02

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： HAYNES ROBERT ,  WELK ARON ,  NASSER-GHODSI MEHRAN ,  GERLING JOHN ,  PLETTNER TOMAS

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/08

Abstract: Mehrsäulen-Rasterelektronenmikroskopie-(SEM)-System mit einer Säulenanordnung, wobei die Säulenanordnung eine erste Anordnung eines Substratarrays und mindestens eine zweite Anordnung eines Substratarrays umfasst. Das System umfasst ferner einen Aufbau der Quellen, wobei der Aufbau der Quelle zwei oder mehr Beleuchtungsquellen umfasst, die so konfiguriert sind, dass sie zwei oder mehr Elektronenstrahlen erzeugen. Zwei oder mehr Sätze von mehreren Positionierern sind derart konfiguriert, dass sie eine Position einer bestimmten Beleuchtungsquelle der zwei oder mehr Beleuchtungsquellen in mehrere Richtungen anpassen. Das System umfasst ferner einen Tisch, der dazu eingerichtet ist, eine Probe zu sichern, wobei die Säulenanordnung zumindest einen Teil der zwei oder mehren Elektronenstrahlen auf einen Teil der Probe richtet.

公开(公告)号：DE112014000939T5

公开(公告)日：2015-11-26

申请号：DE112014000939

申请日：2014-04-25

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： HAYNES ROBERT ,  NASSER-GHODSI MEHRAN

IPC: C23C16/00 ,  H01L21/67

Abstract: Ausführungsformen dieser Erfindung verwenden keramische Mehrschichtsubstrate mit einem oder mehreren hermetisch verschlossenen und gefüllten metallischen Durchgangslöchern (153) mit geringerem Abstand („pitch“) und geringerer Größe in Kombination mit flexiblen Leiterkabeln (120, 120a, 120b) und Interposern (130, 130a, 130b), um eine benutzerdefinierte elektrische Durchführung (110) zwischen einer Atmosphärenseite und einer Vakuumseite einer Vakuumkammer (101) bereit zu stellen.

公开(公告)号：DE112018000672T5

公开(公告)日：2019-12-12

申请号：DE112018000672

申请日：2018-02-03

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： HAYNES ROBERT ,  CHILESE FRANK ,  PREIL MOSHE

IPC: G03F9/00 ,  G03F7/20

Abstract: Eine Mehrsäulenanordnung für ein Rasterelektronenmikroskopiesystem (REM-System) ist offenbart. Die Mehrsäulenanordnung enthält eine Vielzahl elektronenoptischer Säulen, die in einem Array angeordnet sind, das durch einen oder mehrere Abstände definiert ist. Jede elektronenoptische Säule enthält ein oder mehrere elektronenoptische Elemente. Die Vielzahl von elektronenoptischen Säulen ist konfiguriert, um einen oder mehrere Feldbereiche auf einer Oberfläche einer Probe zu charakterisieren, die auf einem Tisch befestigt ist. Die Anzahl der elektronenoptischen Säulen in der Vielzahl der elektronenoptischen Säulen ist gleich einer ganzzahligen Anzahl von Inspektionsbereichen in einem Feldbereich des einen oder der mehreren Feldbereiche. Der eine oder die mehreren Abstände der Vielzahl elektronenoptischer Säulen entsprechen einer oder mehreren Dimensionen der Inspektionsbereiche.

公开(公告)号：WO2011009065A3

公开(公告)日：2011-04-21

申请号：PCT/US2010042313

申请日：2010-07-16

Applicant: KLA TENCOR CORP ,  SHADMAN KHASHAYAR ,  HAYNES ROBERT ,  TOTH GABOR D ,  SEARS CHRISTOPHER ,  NASSER GHODSI MEHRAN

Inventor： SHADMAN KHASHAYAR ,  HAYNES ROBERT ,  TOTH GABOR D ,  SEARS CHRISTOPHER ,  NASSER GHODSI MEHRAN

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/05 ,  H01J49/486 ,  H01J2237/0535 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24485

Abstract: One embodiment relates to a charged-particle energy analyzer apparatus. A first mesh is arranged to receive the charged particles on a first side and pass the charged particles to a second side, and a first electrode is arranged such that a first cavity is formed between the second side of the first mesh and the first electrode. A second mesh is arranged to receive the charged particles on a second side and pass the charged particles to a first side, and a second electrode is arranged such that a second cavity is formed between the first side of the second mesh and the second electrode. Finally, a third mesh is arranged to receive the charged particles on a first side and pass the charged particles to a second side, and a position-sensitive charged-particle detector is arranged to receive the charged particles after the charged particles pass through the third mesh.

Abstract translation: 一个实施例涉及一种带电粒子能量分析装置。 布置第一网格以接收第一侧上的带电粒子并将带电粒子传递到第二侧，并且第一电极被布置成使得第一空腔形成在第一网格的第二侧和第一电极之间。 布置第二网以接收第二侧上的带电粒子并将带电粒子传递到第一侧，并且第二电极被布置成使得在第二网格的第一侧和第二电极之间形成第二腔。 最后，设置第三网格以接收第一侧上的带电粒子并将带电粒子传递到第二侧，并且位置敏感带电粒子检测器布置成在带电粒子通过第三侧之后接收带电粒子 目。

公开(公告)号：EP2726906A4

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：EP12804981

申请日：2012-06-07

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： NASSER-GHODSI MEHRAN ,  SEARS CHRISTOPHER ,  HAYNES ROBERT

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/09

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/2511 ,  H01J2237/2516

公开(公告)号：EP2454749A4

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：EP10800621

申请日：2010-07-16

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： SHADMAN KHASHAYAR ,  HAYNES ROBERT ,  TOTH GABOR D ,  SEARS CHRISTOPHER ,  NASSER GHODSI MEHRAN

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/05 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/05 ,  H01J49/486 ,  H01J2237/0535 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24485

Abstract: One embodiment relates to a charged-particle energy analyzer apparatus. A first mesh is arranged to receive the charged particles on a first side and pass the charged particles to a second side, and a first electrode is arranged such that a first cavity is formed between the second side of the first mesh and the first electrode. A second mesh is arranged to receive the charged particles on a second side and pass the charged particles to a first side, and a second electrode is arranged such that a second cavity is formed between the first side of the second mesh and the second electrode. Finally, a third mesh is arranged to receive the charged particles on a first side and pass the charged particles to a second side, and a position-sensitive charged-particle detector is arranged to receive the charged particles after the charged particles pass through the third mesh.