公开(公告)号：AU2003207834A1

公开(公告)日：2003-09-02

申请号：AU2003207834

申请日：2003-02-04

Applicant: KLA TENCOR TECH CORP

Inventor： LEHMAN KURT ,  CHEN CHARLES ,  ALLEN RONALD L ,  SHINAGAWA ROBERT ,  SETHURAMAN ANANTHA R ,  BEVIS CHRISTOPHER F ,  TRIKAS TOM ,  CHEN HAIGUANG ,  MENG CHING LING

IPC: B24B37/04 ,  B24B41/04 ,  B24B49/04 ,  B24B49/10 ,  B24B49/12

公开(公告)号：AU2003207834A8

公开(公告)日：2003-09-02

申请号：AU2003207834

申请日：2003-02-04

Applicant: KLA TENCOR TECH CORP

Inventor： SHINAGAWA ROBERT ,  CHEN CHARLES ,  CHEN HAIGUANG ,  LEHMAN KURT ,  BEVIS CHRISTOPHER F ,  ALLEN RONALD L ,  SETHURAMAN ANANTHA R ,  TRIKAS TOM ,  MENG CHING LING

IPC: B24B37/04 ,  B24B41/04 ,  B24B49/04 ,  B24B49/10 ,  B24B49/12 ,  B24B49/00