公开(公告)号：KR20180019243A

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：KR20187003926

申请日：2016-07-05

Applicant: KLA TENCOR CORP

Inventor： GAIND VAIBHAW ,  KIRKWOOD JASON

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/268 ,  H01L21/67

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N2021/8822 ,  H04N5/2256

Abstract: 반도체샘플에서결함을검출하는장치및 방법이개시된다. 시스템은비영차가우시안조명빔을샘플의복수의위치를향해지향시키는조명모듈과, 상기비영차가우시안조명빔에응답하여상기샘플로부터산란된광을검출하고상기샘플의각 위치에대한복수의출력이미지또는신호를생성하는수집모듈을포함한다. 시스템은 (i) 하나이상의비영차가우시안조명빔의점 확산함수와실질적으로정합하는필터링된이미지또는신호부분을보유하도록상기출력이미지또는신호를처리하고, (ii) 상기샘플에서결함들을검출하기위해상기필터링된이미지또는신호부분들을분석함으로써결함을검출하는프로세서시스템을또한포함한다.

Abstract translation: 公开了一种用于检测半导体样品中的缺陷的设备和方法。 系统高恩妃零阶高斯照明光束的照明模块，并响应于一个高斯照明光束的非字母顺序通过检测从样品散射的光，并用于样品或的每个位置的多个输出图像的朝向所述多个样本的位置的引导 还有一个用于生成信号的采集模块。 处理所述输出图像或信号的系统（i）至保持滤波的图像，或信号部分基本上一个或多个非字母顺序高斯照射束的点扩展函数相匹配，以及，（ⅱ），以检测样品中的缺陷 以及一种处理器系统，用于通过分析滤波后的图像或信号部分来检测缺陷。

公开(公告)号：WO2017011226A9

公开(公告)日：2017-04-13

申请号：PCT/US2016040991

申请日：2016-07-05

Applicant: KLA-TENCOR CORP

Inventor： GAIND VAIBHAW ,  KIRKWOOD JASON

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/268 ,  H01L21/67

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N2021/8822 ,  H04N5/2256

Abstract: Disclosed are apparatus and methods for detecting defects on a semiconductor sample. The system includes an illumination module for directing a nonzero-order Gaussian illumination beam towards a plurality of locations on a sample and a collection module for detecting light scattered from the sample in response to the nonzero-order Gaussian illumination beams and generating a plurality of output images or signals for each location on the sample. The system further comprises a processor system for detecting defects by (i) processing the output images or signals so as to retain filtered image or signal portions that substantially match a point spread function of the one or more nonzero-order Gaussian illumination beams, and (ii) analyzing the filtered image or signal portions to detect defects on the sample.

Abstract translation: 公开了用于检测半导体样品上的缺陷的装置和方法。 该系统包括用于将非零阶高斯照明光束引导到样本上的多个位置的照明模块和用于响应于非零阶高斯照明光束检测从样本散射的光的收集模块，并且生成多个输出 样品上每个位置的图像或信号。 该系统还包括一个处理器系统，用于通过（i）处理输出图像或信号来检测缺陷，以保持基本上与一个或多个非零阶高斯照明光束的点扩散函数基本一致的滤波图像或信号部分，以及（ ii）分析滤波图像或信号部分以检测样品上的缺陷。