公开(公告)号：DE102011004652A1

公开(公告)日：2011-09-01

申请号：DE102011004652

申请日：2011-02-24

Applicant: KOREA ELECTRONICS TELECOMM

Inventor： CHO JUNG-MIN ,  BAE EUN-JIN ,  HAM CHANG-WOO ,  SUH JEONG-DAE ,  CHUNG MYUNG-AE ,  SONG KI-BONG

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/0749

Abstract: Offenbart wird ein Verfahren zur Herstellung einer lichtabsorbierenden Dünnfilmschicht mittels Sprühen, aufweisend das Mischen von Ausgangsstofflösungen, die CuCl2, InCl3 und SeC(NH2)2 umfassen, unter einer Atmosphäre aus Stickstoff bei Raumtemperatur, wodurch eine Mischlösung vorbereitet wird; Sprühen der Mischlösung auf ein Substrat und Trocknen derselben, wodurch ein Dünnfilm ausgebildet wird; und Selenisieren des Dünnfilms unter einer Atmosphäre aus Selen. Darüber hinaus wird ein Verfahren zur Herstellung einer Dünnfilm-Solarzelle geschaffen, das aufweist: Ausbilden einer hinteren Kontaktschicht auf einem Glasssubstrat mittels Sputtern; Ausbilden einer lichtabsorbierenden Schicht auf der hinteren Kontaktschicht mittels Sprühen; Ausbilden einer Pufferschicht auf der lichtabsorbierenden Schicht mittels chemischer Gasabscheidung; Ausbilden einer Fensterschicht auf der Pufferschicht mittels Sputtern; und Ausbilden einer oberen Elektrodenschicht auf der Fensterschicht.